（RE-06846）X線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備【掲載期間：2025年7月22日～2025年9月10日】

（RE-06846）X線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備【掲載期間：2025年7月22日～2025年9月10日】 - 1 -入 札 公 告次のとおり一般競争入札に付します。令和7年7月22日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 大小原 努◎調達機関番号 804 ◎所在地番号 12○第23号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 購入等件名及び数量X 線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備一式(3) 調達件名の特質等 入札説明書による。(4) 履行期間 入札説明書による。(5) 履行場所 入札説明書による。(6) 入札方法 落札決定に当たっては、入札書に記載された金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に１円未満の端数があるときは、その端数金額を切り捨てるものとする。)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税及び地方消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった契約金額の110分の100に相当する金額を- 2 -入札書に記載すること。２ 競争参加資格(1) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１０条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者については、この限りでない。(2) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１１条第１項の規定に該当しない者であること。(3) 令和7年度に国の競争参加資格(全省庁統一資格)を有している者であること。なお、当該競争参加資格については、令和7年3月31日付け号外政府調達第57号の官報の競争参加者の資格に関する公示の別表に掲げる申請受付窓口において随時受け付けている。(4) 調達物品に関する迅速なアフターサービス・メンテナンスの体制が整備されていることを証明した者であること。(5) 当機構から取引停止の措置を受けている期間中の者でないこと。３ 入札書の提出場所等(1) 入札書の提出場所、契約条項を示す場所、入- 3 -札説明書の交付場所及び問い合わせ先〒263-8555 千葉市稲毛区穴川４－９－１国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 財務部 契約課 電話 043-206-6262E-mail:nyuusatsu_qst@qst.go.jp(2) 入札説明書の交付方法 本公告の日から入札書受領期限の前日17：00までの間において上記3(1)の交付場所にて交付する。また、電子メールでの交付を希望する者は必要事項(調達番号、件名、住所、社名、担当者所属及び氏名、電話番号)を記入し3(1)のアドレスに申し込むこと。ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。(3) 入札説明会の日時及び場所 開催しない。(4) 入札書の受領期限令和7年9月11日17時00分(5) 開札の日時及び場所 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 千葉地区 会議室令和7年9月29日11時00分４ その他(1) 契約手続において使用する言語及び通貨日本語及び日本国通貨。(2) 入札保証金及び契約保証金 免除。(3) 入札者に要求される事項 この一般競争に参- 4 -加を希望する者は、封印した入札書に本公告に示した物品を納入できることを証明する書類を添付して入札書の受領期限までに提出しなければならない。入札者は開札日の前日までの間において、当機構から当該書類に関し説明を求められた場合は、それに応じなければならない。(4) 入札の無効 本公告に示した競争参加資格のない者の提出した入札書、入札者に求められる義務を履行しなかった者の提出した入札書、その他入札説明書による。(5) 契約書作成の要否 要。(6) 落札者の決定方法 本公告に示した物品を納入できると契約責任者が判断した入札者であって、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構が作成した予定価格の制限の範囲内で最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。(7) 手続における交渉の有無 無。(8) その他 詳細は入札説明書による。なお、入札説明書等で当該調達に関する環境上の条件が定められている場合は、十分理解した上で応札すること。５ Summary- 5 -(1) Official in charge of disbursement of theprocuring entity : OKOHARA tsutomu, Directorof Department of Financial Affairs, NationalInstitutes for Quantum Science and Technology. (2) Classification of the products to be procured :24(3) Nature and quantity of the products to bemanufactured : Manufacturing of a Front-endsystem for NanoTerasu XRD Beamline 1set(4) Delivery period : As shown in the tenderDocumentation(5) Delivery place : As shown in the tenderDocumentation(6) Qualifications for participating in the tenderingprocedures : Suppliers eligible for participatingin the proposed tender are those who shall :A not come under Article 10 of the Regulationconcerning the Contract for NationalInstitutes for Quantum Science andTechnology, Furthermore, minors, Personunder Conservatorship or Person underAssistance that obtained the consentnecessary for concluding a contract may beapplicable under cases of special reasons- 6 -within the said clause,B not come under Article 11(1) of theRegulation concerning the Contract forNational Institutes for Quantum Scienceand Technology,C have qualification for participating intenders by Single qualification for everyministry and agency during fiscal 2025D prove to have prepared a system to providerapid after-sale service and maintenance forthe procured products,E not be currently under a suspension ofbusiness order as instructed by NationalInstitutes for Quantum Science andTechnology. (7) Time limit of tender :5:00 PM, 11, September, 2025(8) Contact point for the notice : Contract Section,National Institutes for Quantum Science andTechnology, 4-9-1 Anagawa, Inage-ku, Chiba-shi 263-8555 JAPAN(TEL.043-206-6262, E-mail: nyuusatsu_qst@qst.go.jp)( 9) Please be noted that if it is indicated that- 7 -environmental conditions relating to theprocurement are laid down in its tenderdocuments. X線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構仕様書Ⅰ 一般仕様1. 件名X線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備1. 目的本件は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下、「QST」という。)が、3GeV高輝度放射光施設NanoTerasu(以下、「NanoTerasu」という。)の蓄積リングに設置する多極ウィグラー(Multi-Pole Wiggler、以下、「MPW」という。)から出射されるテンダーX線放射光を、X線回折(以下、「XRD」という。)実験を行うビームラインに導くための、フロントエンド機器の設計、製作及び、据付・調整(アライメント、超高真空立上げ、遮蔽機器取り付け、ユーティリティ敷設、制御系機器敷設等の一切を含む。)、等を行うものである。2. 仕様範囲X線回折ビームライン用フロントエンド機器の整備 ：1式① 必要な材料手配、設計、製作、試験、梱包・輸送、搬入、据付、超高真空立上げ、及びユーティリティ敷設等一切を行うこと。② 据付調整作業に必要な一切の測量機器(トランシット、鉛直器、オートレベラ、水準器、治具等並びに、ベーキングを含む真空作業及びおよびユーティリティ敷設作業に必要な一切の部品、工具及び、消耗品(温度監視用熱電対、固着防止用のモリブデン、アルコール等)など、本案件を遂行するために必要な全ての物品は、受注者側で準備すること。➂ 納入時に使用した梱包材、現地での搬入及び作業時に養生などに使用した資材の廃棄は、受注者が行うこと。3. 納入期限令和9年3月24日NanoTerasu では放射光施設としての利用が開始されていることから、蓄積リング収納部内でのフロントエンド機器の据付などの、蓄積リングトンネル内での施作業は延べ 1 ケ月程度で据え付けられる工程とすること。最終アライメント等の詳細なスケジュールは契約後に打合せの上で決定する。4. 納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1NanoTerasu内の指定する場所5. 納入条件据付調整後渡し6. 試験条件(1)製作時物品製作段階にて仕様書に記載した項目について試験を行うこと。事前に試験検査要領書を提出しQST担当者の確認を得ること。試験検査要領書に基づき試験を実施し、試験検査成績書を作成・提出すること。試験には必要に応じてQST担当者が立会いをする。(2)据付時据付・真空立上げ時に仕様書に記載した項目について試験を行うこと。事前に試験検査要領書を提出しQST担当者の確認を得ること。試験検査要領書に基づき試験を実施し、試験検査成績書を作成・提出すること。試験には原則QST担当者が立会いをする。7. 保管条件物品製作後、納入までの保管は、室温5℃〜40℃の室内で、結露しないという保管条件下とし梱包を施すこと。8. 契約不適合責任契約不適合責任については、契約条項のとおりとする。9. 提出図書提出図書のリストを下表に示す。表: 提出図書リスト図書名 提出時期 電子ファイル提出 紙媒体部数① 製作工程表 契約後速やかに WORD (EXCEL) PDF 3部② 契約仕様書 契約後速やかに WORD (EXCEL), PDF 3部➂ 各種仕様書 製作前 WORD (EXCEL), PDF 1部④ 各種構造図 製作前 2D-CAD, 3D-CAD, PDF 1部⑤ 各種要領書 製作前 WORD (EXCEL), PDF 1部⑥ 試験検査要領書 試験前 WORD (EXCEL), PDF 1部⑦ 打合せ議事録 実施の都度 WORD (EXCEL) PDF 1部⑧ ミルシート・鉛ブロックのミルシート(鉛コ設置前WORD (EXCEL) PDF 1部・ 提出図書①及び②は、契約後速やかにA4紙に印刷したもの3部と電子ファイルを提出すること。 電子ファイルはWORDあるいはEXCELファイルとPDFとする。・ 提出図書➂～⑪は提出時期都度、A4紙に印刷したもの(④及び⑪はA3に印刷し2つ折りにしたもの)1部と電子ファイルを提出すること。電子ファイルはWORDあるいはEXCELファイルとPDFとする。・ ⑫完成図書は①～⑪をそれぞれ印刷してA4ファイルに綴じ、表紙と目次を付けたものとする。必要に応じて分冊すること。大型図面④及び⑩は折りたたんで収納すること。文字が判読できない縮小図は不可とする。・ 提出された3D-CADファイル及び2D-CADファイルの全体平面図及び全体側面図は周辺機器との干渉や取合いを確認するために使用される。これらは総合図に統合後に、使用を本プロジェクトのみに制限した上で、関係する他の会社に渡すことがあるため、必要に応じて、支障のない総合図用のファイルを提出すること。(提出場所)宮城県仙台市青葉区荒巻青葉468-1国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構NanoTerasuセンター 高輝度放射光研究開発部 ビームライングループリメータ及びシールド壁穴部)・ブロック配置図(シールド壁穴部)・タングステンブロックのミルシ－ト(ビームシャッター)寸法試験結果・鉛ブロックを積み上げた状態での寸法検査結果(鉛コリメータ)・タングステンブロック(ビームシャッター)その他・シールド壁穴部の鉛埋め戻し時の１層毎のカラー写真設置後速やかに設置後速やかに⑨ 試験検査成績書 納入時 WORD (EXCEL), PDF 1部⑩ 取扱説明書 納入時 WORD (EXCEL), PDF 1部⑪ 完成図(決定図) 納入時 2D-CAD, 3D-CAD, PDF 1部⑫ 完成図書 納入時 WORD (EXCEL), PDF 3部10. 支給品支給する物品のリストを下表に示す。表: 支給品リスト品名 数量 支給時期① ビーム素材 10本 契約後速やかに② FEPLC制御盤 1台 設置前③ EtherCATマスターカード搭載ラックマウントサーバ 1台 設置前支給場所: NanoTerasu内の指定する場所11. 貸与品貸与する物品のリストを下表に示す。表: 貸与品リスト品名 数量 備考① 窒素ガスボンベ 1式 使用したガスは支給とする② ヘリウムガスボンベ 1式 使用したガスは支給とする➂ 移動式排気ポンプユニット 2台④ ヘリウムリークディテクタ 1台⑤ ベーキング用ヒーターコントローラ 1式⑥ 建屋内クレーン 1式⑦ NEGポンプ用制御装置 1式⑧ 水用電気伝導率計 1式⑨ ベーク用リボンヒータ、熱電対、温度ロガー 1式⑩ レーザートラッカ 1式12. 品質管理本件調達に係る設計・製作・据付け等は、全ての工程において、以下の事項等について十分な品質管理を行うこととする。(1)管理体制(2)設計管理(3)外注管理(4)現地作業管理(5)材料管理(6)工程管理(7)試験・検査管理(8)不適合管理(9)記録の保管(10)重要度分類(11)監査13. 適用法規・規格基準本品の設計・製作・据付・試験検査にあたっては、以下の法令、規格、基準等を適用又は準用して行うこと。(1) 労働安全衛生法(2) 日本工業規格(JIS)(3) その他受注業務に関し、適用又は準用すべき全ての法令・期間・基準等14. 知的財産権等知的財産権については、知的財産権特約条項のとおりとする。15. 機密保持受注者は、本業務の実施に当たり、知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供を行ってはならない。このため、機密保持を確実に行える具体的な情報管理要領書を作成・提出し、これを厳格に遵守すること。16. 安全管理(1)一般安全管理・作業計画に際し綿密かつ無理のない工程を組み、材料、労働安全対策等の準備を行い、作業の安全確保を最優先としつつ、迅速な進捗を図るものとする。また、作業遂行上既設物の保護及び第三者への損害防止にも留意し、必要な措置を講ずるとともに、火災その他の事故防止に努めるものとする。・作業現場の安全衛生管理は、法令に従い受注者の責任において自主的に行うこと。・受注者は、作業着手に先立ちQSTと安全について十分に打合せを行った後着手すること。・受注者は、作業現場の見やすい位置に、作業責任者名及び連絡先等を表示すること。・作業中は、常に整理整頓を心掛ける等、安全及び衛生面に十分留意すること。・受注者は、本作業に使用する機器、装置の中で地震等により安全を損なう恐れのあるものについては、転倒防止策等を施すこと。・NanoTerasuにおける設置作業にあたっては、NanoTerasu作業ルール及び手引きに従うこと。(2)放射線管理・本仕様の一部には放射線管理区域内での作業が含まれる。当該作業にあたっては、放射線作業従事者登録が必要であることに留意すること。・放射線管理及び異常時の対策は、QSTの指示に従うこと。17. グリーン購入法の推進・本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。・本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。18. 協議本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項について疑義が生じた場合は、QSTと協議のうえ、その決定に従うものとする｡機器構成を含む詳細については、QST 担当者の指示に従うこと。19. その他(1) 物品識別タグ: 本契約において納入する全物品のリストを、QST が指定する様式にて納入前にQSTに提出すること。提出リストを元に、QST側でユニーク識別コードが書かれたタグを準備し支給する。QSTが指定した全物品に対し、支給タグを貼り付けた後に納入すること。タグを貼る箇所については別途指示する。(2) 権利の帰属: 本仕様書によって製作されたハードウエア等の図面を含む著作物の著作権は、QSTに帰属するものとする。資料等から波及する特許の行使権は、QSTに帰属する。(3) 技術打合せ: 工程、詳細設計及び試験等に関する技術打合せを、必要に応じてQST職員の指示する日時・場所にて行い、受注者は1名以上の設計担当者(技術者)が出席すること。搬入、据付、真空立上げ、ユーティリティ敷設時には現場での工程管理を行い、他の作業などとの調整も行うこと。議事内容や決定事項を議事録として毎回提出すること。打合せ時の使用言語及び技術資料、議事録の使用言語は日本語とする。なお、第1回打ち合わせ(キックオフミーティング)は受注後1ケ月以内に行うこと。(4) 故障や不良等が発生した場合には速やかな対処が可能であること。また原因と対処方法を速やかにQST担当者に報告すること。Ⅱ 技術仕様1. 概要本件は、NanoTerasu蓄積リングの短直線部に設置されるMPWを光源としXRD実験を行うXRDビームラインのフロントエンド機器を製作する。 フロントエンドはビームラインの先端部に位置し、光源おいて生成される放射光を安全かつ安定的に光学・輸送系に導くための超高真空装置である。この装置の目的は、(a) 放射光利用の際に起こりうる真空事故への対応を含め蓄積リングの超高真空状態を保護すること。(b) 必要に応じて高出力放射光をマスク、アブソーバ及び、スリット等によって制御すること。(c)ビームシャッター等により放射線を遮蔽することによって安全な放射光利用を確保すること。この装置は基本的にリングトンネルに設置され、上流側の蓄積リングとは、光取出管端部に設置される手動式オールメタルゲートバルブ(仕様範囲外)で取り合う。2. 基本仕様2.1. 構成フロントエンドは、以下により構成される。ライン図に構成模式図、ライン表に配置参考値を示す。各装置の詳細は「III. 別添仕様書」を参照すること。(a) 放射光ビームを制御しつつ超高真空を達成するための真空装置部。(表: 2.1(a))(b) 各種真空装置を精度良く配置するためのビーム架台部。(表: 2.1(b))(c) 各種真空装置を冷却するための冷却水配管部。(III. 別添仕様書)(d)真空装置の一種であるゲートバルブやビームシャッターを動作させるための圧空配管部。(III. これは、圧力が高い段階で真空ゲージを運転することによる損傷を防ぐための措置である。 真空ゲージの値が10-5 Pa 以下となった段階で、同真空ゲージを連続運転とすること。(13) 真空ゲージの値が3×10-6 Pa 以下となった時点で、真空ゲージのコントローラを操作してガス出しを行うこと。(14) 各部が概略室温になるまで、自然冷却開始後12 時間以上放置すること。その時点で真空ゲージの値が5×10-8 Pa 以下になっていることを確認すること。圧力がこの値を上回っている場合はリークが疑われるので、適切な処置をとること。方法については別途協議する。(15) リーク量が許容値以下であることを確認すること。なお、ヘリウムリークディテクタ及びスプレーガンを備えたヘリウムガスボンベを貸与する。2.3.3. 遮蔽機器の取り付け(1) 鉛コリメータの遮蔽体構造物をIII.別添仕様書第1.8項に基づき組み立てること(2) シールド壁貫通管の周りを鉛で隙間無く埋めること。鉛を埋める範囲は、リングトンネル側408 mm 角開口(奥行300 mm)の全域とする。なお、鉛の設置はベーキング後に行うこと。2.3.4. 冷却水・圧空配管敷設(1) III.別添仕様書 第3項に基づき、冷却水母配管を敷設するとともに、冷却水が必要な真空機器に枝配管を敷設すること。(2) III.別添仕様書 第4項に基づき、圧空母配管を敷設するとともに、圧空が必要な真空機器に枝配管を敷設すること。2.3.5. 制御系敷設III.別添仕様書 第 5 項に基づき、フロントエンドの制御に必要な各種制御装置が収納された FE主制御ラックを内周通路の指定場所に設置すること。加速器インターロックシステムへの接続も含め、フロントエンドの制御に必要な全てのケーブルを敷設すること。2.3.6. 最終アライメントすべて機器の設置後、リングトンネル内ネットワークに基づき QST が行うレーザートラッカを使った測量に基づき、最終アライメントを高熱負荷機器(固定マスク、アブソーバ、XY スリット、)に対して実施すること。3. 試験・検査本装置に関する試験・検査は以下の各項目を実施すること。なお、以下の検査を実施するに当たり、事前に検査要領書を作成し提出するものとする。3.1. 受注者工場における試験受注者工場において真空装置ごとに、「III. 別添仕様書」に記載する試験を行い、その結果を試験検査成績書にとりまとめて当機構に提出すること。なお、試験は必要に応じて、QST担当者の立会いのもとで行うものとする。3.2. 現地における試験(1) 設置精度の試験本仕様書記載の設置精度確認のために必要な試験を行う。なお、設置精度は基本的にベーキング終了時の状態で満足するものとする。さらに主要機器については、レール基準面から各機器基準フランジ面あるいは本体基準面までの寸法を計測の上、提出すること。(2) リーク試験全機器を締結後、ヘリウムリークディテクタにてリーク試験を行うこと。(3) 超高真空試験温度調節器などにより到達温度を管理のもと48 時間以上の250℃(真空装置の種類によっては150℃や200℃前後。)加熱排気を実施した後、NEG ポンプの活性化、タイバックポンプのフラッシングを実施し、240 時間経過後の各排気真空槽におけるヌード型BA ゲージの指示値が、下表に示す仕様値を満足していることを確認すること。下表の値に達し得ない場合は、原因を究明し、不良箇所を特定した上でQST担当者の指示を仰ぐこと。QST担当者が、加熱排気時間の不十分等、据付・調整作業によることが原因と判断した場合には、必要に応じて再加熱排気処理等を施すこと。また、この試験によって真空装置の本仕様書記載の精度が損なわれた場合には、修理や交換等の処置を講ずること。表: 真空仕様値測定場所(ケージ) 仕様値IG1(EVPC) 4×10-8 Pa 以下IG2(VPC1) 4×10-8 Pa 以下IG3(VPC2) 6×10-8 Pa 以下IG4(VPC3) 6×10-8 Pa 以下(4) 冷却水配管試験冷却水配管に漏洩がないことを確認するため、窒素ガスなどによる加圧漏洩試験をスヌープを使って行うこと(耐圧1MPa)。また、「III. 別添仕様書第3.4項」に記載の流量確認試験も行うこと。(5) 圧空配管試験圧空配管に漏洩がないことを確認するため、窒素ガスなどによる加圧漏洩試験をスヌープを使って行うこと(耐圧0.8 MPa)。また、「III. 別添仕様書第4.1(①)項」に記載の漏洩試験を行うこと。(6) 動作試験ステッピングモータ駆動装置、圧空駆動装置、ゲートバルブ及び高速シャッター等の動作試験を通水状態で行うこと。また、駆動部に取り付けられた金属フレキホースが駆動時の滑らかな動きを妨げていないことを確認すること。さらに、継手部に無理な負担が掛かっていないことも確認すること。(7) インターロック信号試験冷却水接点、圧空接点、真空系及びリミットスイッチによるステータス信号など各種信号が正しく出力されていることを確認するとともに、支給品である FE/PLC 制御盤との取合い試験を行うこと。(8) 最終アライメント試験第 2.3.6 項に記載の最終アライメントを行い、本仕様書記載の設置精度確認のために必要な試験を行うこと。(要求者)部課(室)名：NanoTerasuセンター高輝度放射光研究開発部ビームライングループ氏 名：安居院 あかねIII. 別添仕様書1. 真空装置部各仕様は、「II.技術仕様、2.基本仕様、2.1 構成」に示す真空装置部の 1 式あたりのものであり、また、各機器の内周通路側設置機器への配線作業、冷却水枝配管、圧空枝配管を含む。各機器の内周通路側設置機器への配線作業は、「第5項 フロントエンド制御盤部」の記述と重なる部分があるので注意すること。1.1. 超高真空排気ユニット(VPC1, VPC2, VPC3、EVPC)1.1.1. 概要超高真空排気ユニットは超高真空を得ることを目的とする装置であり、3種類の排気真空槽(VPC1,VPC2, VPC3: 各1台(参考図:図1-1-1(a)～(c)MPW))と端部排気真空槽(EVPC: 1台(参考図:図1-1-1(d)MPW))から構成され、ゲートバルブで区切られる各真空セクションに配置される。本ユニットは、圧力の絶対値だけでなく高度な清浄度を要求される蓄積リングに直結するため、製作時に真空内面を汚したり傷つけたりすることのないよう十分に留意すること。VPCは主排気ポンプであるノーブルポンプを加工し、放射光がポンプ内を通過できる構造を有する。 補助ポンプとしてタイバックポンプを有する。EVPCは、光軸上におかれた専用チェンバにノーブルポンプをオフセットさせて取り付ける構造とし、主排気ポンプは NEG ポンプとする。VPC、EVPC ともに電離真空計、真空封止用メタルバルブ、移動式粗排気ポンプユニット接続用アングルバルブ等の真空部品が取り付けられる。1.1.2. ユニット構成部品1.1.2.1. VPC1VPC1(1台)は以下①～⑦で構成される。(参考図:図1-1-1(a)MPW)① 排気真空槽300型本体(参考図: 図1-1-1(e)) :1台以下②～⑦を装備できる、面間寸法：300 mm(参考値)、材質：SUS304、SSのノーブルポンプとする。(キャノンアネルバ製 110L/s ノーブルポンプ特注品(相当品))。また、ビーム軸フランジはICF114/ICF152とする。② タイバックポンプ :2個キャノンアネルバ製タイバックポンプ/956-7040相当品とする。延長ニップルを付属すること。③ 光電子抑止型ゲージポート(参考図: 図1-1-1(h)) :1個寸法：217L×217H×114W(参考値)、材質：SUS304, SS,とする。光電子抑止にはフェライト磁石を用いること。④ ICF114フランジ付きヌード型BAゲージ :1個キャノンアネルバ製NIG-2TF/954-7903相当品とする。⑤ 2.5インチオールメタルバルブ :1個キャノンアネルバ製/951-7152相当品とする。⑥ 2.5インチバトンバルブ :1個キャノンアネルバ製/V-065LV-MMI DN65手動 L型バルブ MSB相当品とする。⑦ 高速シャッター用真空センサー(冷陰極型) :1個VAT製770SH-99NN相当品とする。1.1.2.2. VPC2VPC2(1台)は以下①～⑥で構成される。(参考図: 図1-1-1(b))① 排気真空槽250型本体(図1-1-1(f)) :1台以下②～⑥を装備できる、面間寸法：250 mm(参考値)、材質：SUS304、SSのノーブルポンプとする。(キャノンアネルバ製 110L/s ノーブルポンプ特注品(相当品))とする。また、ビーム軸フランジはICF70/ICF70とする。② タイバックポンプ :2個キャノンアネルバ製タイバックポンプ/956-7040相当品とする。延長ニップルを付属すること。③ 光電子抑止型ゲージポート(参考図: 図1-1-1(h)) :1個寸法：217L×217H×114W(参考値)、材質：SUS304, SS,とする。光電子抑止にはフェライト磁石を用いること。④ ICF114フランジ付きヌード型BAゲージ :1個キャノンアネルバ製/NIG-2TF/954-7903相当品とする。⑤ オールメタルバルブ :1個キャノンアネルバ製/951-7150相当品とする。ICF114/70変換フランジを付属すること。⑥ ポリイミドバルブ :１個キャノンアネルバ製/951-7120相当品とする1.1.2.3. VPC3VPC3(1台)は以下①～⑦で構成される。(参考図: 図1-1-1(c))① 排気真空槽250型本体(図1-1-1(f)) :1台以下②～⑦を装備できる面間寸法：250 mm(参考値)、材質：SUS304、SSのノーブルポンプとする。(キャノンアネルバ製 110L/s ノーブルポンプ特注品(相当品))、また、ビーム軸フランジはICF70/ICF70とする。② タイバックポンプ :2個キャノンアネルバ製タイバックポンプ/956-7040相当品とする。延長ニップルを付属すること。③ 光電子抑止型ゲージポート(参考図: 図1-1-1(h)) １個寸法：217L×217H×114W(参考値)、材質：SUS304, SS,とする。光電子抑止にはフェライト磁石を用いること。④ ICF114フランジ付きヌード型BAゲージ :1個キャノンアネルバ製NIG-2TF/954-7903相当品とする。⑤ オールメタルバルブ :1個キャノンアネルバ製951-7150相当品とする。ICF114/70変換フランジを付属すること。⑥ ポリイミドバルブ :1個キャノンアネルバ製951-7120相当品とする。⑦ 高速シャッター用真空センサー(冷陰極型) :1個VAT製770SH-99NN相当品とする。1.1.2.4. 端部排気真空槽(EVPC)EVPC(1台)は以下①～⑥で構成される。(参考図: 図1-1-1(d)MPW)① チェンバ付き端部排気真空槽本体(図1-1-1(g)MPW) :1台ノーブルポンプ(キャノンアネルバ製 60L/s ノーブルポンプ特注品(相当品))及び、これを光軸からオフセットさせる、ビーム軸フランジICF152/ICF152、チェンバ面間寸法：300 mm(参考値)の真空チャンバから構成される。材質:SUS304、SSとする。以下②～⑥を装備すること。② NEGポンプ :1個SAES製CapaciTorr Z200(ICF70付)相当品とする。(活性化に用いるSAES製CapaciTorr D200用制御装置(SAES製D200 Power Supplyは貸与する)延長ニップルを付属すること。③ 光電子抑止型ゲージポート(図1-1-1(h)) :1個寸法：217L×217H×114W(参考値)、材質：SUS304, SS,とする。光電子抑止にはフェライト磁石を用いること。④ ICF114フランジ付きヌード型BAゲージ :1個キャノンアネルバ製NIG-2TF/954-7903相当品とする。⑤ オールメタルバルブ :1個キャノンアネルバ製951-7150相当品とする。ICF114/70変換フランジを付属すること。⑥ ポリイミドバルブ :1個キャノンアネルバ製951-7120相当品とする。1.1.3. ユニット機器共通仕様① ビーム軸フランジの溶接取り付け精度はチェンバ軸に対し±0.2 mm以下(目標値)であること。② VPC1, 2, 3は、共通ビームを用いたアライメントに適合した専用架台を有していること。③ EVPCのノーブルポンプは光軸からオフセットしており、本仕様書内「第2項 ビーム架台部」に記載の2本の共通レールで構成される架台システムに搭載できないので、共通レールの使用は1本としEVPCのノーブルポンプ本体を床面から支持するための架台を別途設けること。また、当該架台は、近隣の他の真空機器の位置調整機能付き架台となる構造も有していること。なお、建設後にも基準面が残るようにすること。④ ノーブルポンプは、特に下記の仕様を満足すること。・ON LOCK機能(停電後の復電時に自動復帰する機能)を有していること。・1台のノーブルポンプのみ単独にオフする際、コントローラの主電源もオフできること。(誤操作による高圧出力によって人的災害が引き起こされる可能性を防ぐため)。⑤ 予備ポート及びバイトンバルブの粗排気接続用フランジには、ブランクフランジを取り付けて納入すること。⑥ 出荷前に単体でベーキングを行い、ベーキング後の到達圧力が3×10-8 Pa以下であることを確認し、真空封じきりの状態で出荷すること。真空封止部には、ガス導入バルブ(ICF70フラン付、ベローズ軸シール方式)を使用するなど、ベント時に操作し易い構造であること。1.1.4. ユニット機器据え付け① アライメント基準はビーム軸フランジ中心とすること。② ビーム軸フランジの設置精度はレール基準のビーム軸に対して±0.2 mm以下であること。③ ゲージポートのコネクタ取合部は、ケーブルの曲げ弾性等による負荷がかからないようにすること。 1.1.5. 内周通路側制御部設置機器1.1.5.1. VPC1① ノーブルポンプコントローラ(キャノンアネルバ製 P-521NP相当品) :1台② 真空ゲージコントローラ(キャノンアネルバ製/M-923DD相当品) :1台③ サブリメーション制御装置(キャノンアネルバ製/SR-TVP-050相当品) (共用):1台④ 高速シャッターコントローラ(VAT製/770VF-16NN-AHN1相当品)：１式1.1.5.2. VPC2① ノーブルポンプコントローラ(キャノンアネルバ製P-521NP相当品) :1台② 真空ゲージコントローラ(キャノンアネルバ製 M-923DD相当品) :1台③ サブリメーション制御装置(キャノンアネルバ製 SR-TVP-050相当品) (共用):1台1.1.5.3. VPC3① ノーブルポンプコントローラ(キャノンアネルバ製 P-521NP相当品) :1台② 真空ゲージコントローラ(キャノンアネルバ製M-923DD相当品) :1台③ サブリメーション制御装置(キャノンアネルバ製 SR-TVP-050相当品) (共用):1台④ 高速シャッターコントローラ(VAT製770VF-16NN-AHN1相当品)：１式1.1.5.4. EVPC① ノーブルポンプコントローラ(キャノンアネルバ製 P-511NP相当品) :1台② 真空ゲージコントローラ(キャノンアネルバ製 M-923DD相当品) :1台1.1.6. 内周通路制御部への通線1.1.6.1. VPC1① ノ－ブルポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本② 真空ゲ－ジ用ケ－ブル(ゲージコントローラへ) :1本③ タイバックポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本④ 高速シャッター用センサーケーブル(緊急遮断シャッターシステムへ) :1本1.1.6.2. VPC2① ノ－ブルポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本② 真空ゲ－ジ用ケ－ブル(ゲージコントローラへ) :1本③ タイバックポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本1.1.6.3. VPC3① ノ－ブルポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本② 真空ゲ－ジ用ケ－ブル(ゲージコントローラへ) :1本③ タイバックポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本④ 高速シャッター用センサーケーブル(緊急遮断シャッターシステムへ) :1本1.1.6.4. EVPC① ノ－ブルポンプ用ケ－ブル(ポンプコントロ－ラへ) :1本② 真空ゲ－ジ用ケ－ブル(ゲージコントローラへ) :1本1.2. フォトンダクトアブソーバ(PDA)1.2.1. 概要PDA は、ビームライン閉鎖時に銅ブロックを光軸上に下ろすことにより、GV1 への偏向電磁石からの漏洩光照射を防ぐ。PDAの挿入は圧空駆動で行う。水冷機構を有する。材質はSUS304、SS、無酸素銅(OFHC/C1011)とする。(参考図: 図 1-1-2(a)152)1.2.2. 構成② PDAチェンバは、面間寸法:220 mm(参考値)、ビーム軸フランジ： ICF152(参考値)とする。③ PDAチェンバは、エアーシリンダ、ベローズを有する。① PDAチェンバと、下流側に接続される前置マスクをサポートするための架台部(水平・垂直方向の位置調整機能付き)を設けること。詳細は別途協議する。1.2.3. 仕様① PDA開閉駆動部は40 mm以上のストロークを備え、溶接ベローズ及びスピード制御付圧空シリンダ(エアシリンダ)方式を採用し、動作時間を２～３秒程度に調整できる構造であること。② PDAの開状態と閉状態を検出するために高耐久型リミットスイッチを設置すること。③ 加速器/真空制御システムに出力するために、上記②に記載のもの以外に、PDAの開状態信号用高耐久型リミットスイッチを開側に設置すること。④ 受光部材質は無酸素銅(OFHC/C1011)とする。⑤ PDA受光部は、光軸中心から水平方向に＋17.95mm(実験ホール側)/－28.75mm(リング側)の範囲に拡がるBM漏洩光を十分に受け止められる大きさであること。また、実効的なパワー密度を低減するために、受光部は 1/2.5 程度のテーパを有していること。さらに受光部からの散乱防止構造を備えていること。⑥ 水冷配管には10 mm銅パイプ又は二重管式冷却機構を採用し、継手は金属製食い込み継手(Swagelok)を使用すること。⑦ 放射光が照射される領域の背面に冷却水配管を設けないこと。⑧ PDAを開の状態で固定するためのメカロック機能を有していること。⑨ ビーム軸フランジの溶接取り付け精度はチェンバ軸に対して±0.2 mm以下(目標値)であること。⑩ PDA閉状態の受光体軸精度はチェンバ軸に対して±0.2 mm以下(目標値)であること。⑪ ベローズ部は、材質:SUS316L、変位量40 mm以上、耐用回数(寿命)10,000回以上、耐熱温度 250℃であること。1.2.4. 据付仕様① 前置マスクと一体で支持すること。② アライメント基準はビーム軸フランジ中心とし、前置マスクと一体で調整すること。③ ビーム軸フランジの設置精度は床面基準点に基づいたビーム軸に対して±0.2 mm以下(目標±0.1 mm以下)であること。④ 冷却水母配管からの枝配管を行うこと。⑤ 冷却水路の OUT 側に接点付き流量計を設置すること。なお、PDA の流量計接点信号を蓄積リング真空制御系に取り込むため、QSTが指定する取り合いコネクタ又は信号線(リングトンネル内真空冷却系ヘッダー近傍)に接続すること。⑥ 圧空母配管からの枝配管を行うこと。⑦ 開閉の動作時間を2～3秒で調整すること。1.2.5. 内周通路側制御部への通線作業① エアシリンダ駆動用及びリミットスイッチ用ケ－ブル(FE主制御ラックへ) :1 本② PDAの開状態信号用高耐久型リミットスイッチ用ケ－ブル(加速器真空系取り合い端子台へ。最大100 m程度) :1本③ 水流量接点(加速器真空系取り合い端子台へ。最大100 m程度) ：1 本1.3. 前置マスクMPW型1.3.1. 概要フロントエンド最上流部(PDA 下流)に設置され、水冷却された銅ブロックにより不要な放射光を吸収する。(参考図:図1-1-3(a)MPW)。水冷機構を有する。主な材質はSUS304、無酸素銅(OFHC/C1011)とする。1.3.2. 前置マスクMPW型仕様① フランジは、面間寸法：150 mm(参考値)、ビーム軸フランジ： ICF152/ICF114とする。また、入口開口：８０(水平)×３６(垂直) 公差＋０．４／－０(参考値)出口開口：３３(水平)×２０(垂直) 公差＋０／－０．４(参考値)とする。➁ 前置マスクと、上流側に接続されるPDAをサポートするための架台部(水平・垂直方向の位置調整機能付き)を設けること。隣接する加速器構成機器(仕様外)との干渉が厳しいので、詳細は別途協議する。➂ ビーム軸フランジの取り付け精度はマスク開口軸に対し±0.2mm以下とする。④ 冷却水入出部は金属製食い込み継手(Swagelok)を採用すること。1.3.3. 据付仕様① アライメント基準はビーム軸フランジ中心とし、PDAと一体で調整すること。② ビーム軸フランジの設置精度は床面基準点に基づいたビーム軸に対して±0.2 mm以下(目標±0.1mm以下)であること。③ 冷却水母配管からの枝配管を行うこと。④ 冷却水路のOUT側に接点付き流量計を設置すること。1.3.4. 内周通路側制御部への通線① 水流量接点(FE主制御ラックへ) :1本1.4. 固定マスクMPW型1.4.1. 概要不要な放射パワーを取り除くために、水冷却された無酸素銅(OFHC/C1011)を使用して放射光に空間的な制限を加える。 (参考図: 図1-1-4(a)MPW。図1-1-4(b)MPW)1.4.2. 構成(a)本体部① 固定マスク本体部は寸法：560L×100W×80H(参考値)とする。② 材質は無酸素銅(OFHC/C1011)、SUS304、SS とする。➂ ビーム軸取合フランジICF152/ICF70 とする。(b) 冷却水路① 冷却水路の内径は 10 mm 以上とし、図1-1-4(b)MPW、図3-1-(a)を参考に複数本設け、それらが直列となるような構造とすること。② 冷却水入出部は 金属製食い込み継手(Swagelok) を使用すること。③ 冷却水入出部の短管と本体は EB 溶接で(ねじ込み式は不可)接続すること。(c) ヒータ① ベーキング用のプレートヒータ等を受光部本体外面に取り付けること。② ベーキング時の無酸素銅の最高温度は 150℃とするが、ヒータ自身の能力としては 200℃までベーキング可能にしておくこと。納入前に単体ベーキング(24 時間保持)を行い、所定の温度に上がることとリーク量が許容リーク量以下であることを確認すること。(d) 温度センサー① 温度センサーとして、JIS-K タイプで外径 1.6 mm の非接地型シース熱電対４個(参考値)をバヨネット型フィッティング等により本体に固定すること。② 機器近傍にて補償導線と専用コネクタ(オメガ熱電対コネクタ相当品)で接続させること。なお、端部には識別可能なタグを取り付けること。1.4.3. 仕様① 固定マスクのアライメント基準は、本体外面とすること(内面のビーム軸と本体外面が一致していること)。② ビーム軸フランジの本体基準面に対する溶接精度は、±0.2 mm 以下であること。③ 受光部テーパ部全域において、テーパ角が規定値以上に逸脱しない加工を行うこと。④ 本体外面に、ビーム軸と基準面との実測寸法及びシリアル No.を刻印すること。⑤ 本体上面光軸上に、レーザートラッカ用ターゲット(SMR)が搭載可能なターゲット穴(φ4/H7)を 2 箇所以上設けること。また、本体上面は、ローリングを測定するための高精度水準器が使える水平基準面であること。⑥ 加工方法によって完成品では確認できない部位に対しては、事前にモックアップ試験を行い、QST担当者の承認を得ること(過去の実績提示でも可)。⑦ 基準面となる本体外面が酸化・変色しないような梱包処置を行うこと(例えば、本体をビニール袋で２重に被い、シリカゲル等を入れたあと N2 で膨らませる等)。⑧ 共通ビーム対応の専用架台(図 1-1-4(a)MPW 参照)を有すること。架台の柱には低熱伝導型スタット(図1-1-9(j))を使用すること。1.4.4. 据付仕様① 機器据付時：本体外面基準面の設置精度は、レール基準のビーム軸に対して±0.2 mm 以下であること。② 最終アライメントはQSTが行うレーザートラッカを使った測量に基づき、実施すること。SMR の設置精度はトラッカ測量に基づいたビーム軸に対して±0.2 mm 以下(目標±0.1 mm 以下)であること。③ 冷却水母配管からの枝配管を行うこと。母配管との取合バルブサイズは 20A(3/4”)とすること。④ 母配管からの枝配管はφ16 mm の BA 管(SUS304)を使用すること。接続部は金属製食い込み継手(Swagelok)を使用すること。また、作業前に配管系統図を提出して承認を得ること。⑤ 冷却水路の OUT 側に接点付き流量計を設置すること。1.4.5. 工場出荷前試験工場出荷前に下記試験等を行うこと。①外観・寸法試験外観(特に真空内面)に有害な傷、変形、シミ・汚れ等の無いことを確認すること。また納入仕様書に指示された主要寸法および公差とおりであることを確認すること。②ヘリウムリーク試験ベーキング前後においてヘリウムリーク試験を行い、リーク量が 1×10-11 Pa･m3/sec 以下であることを確認すること。③冷却水路耐圧・漏洩試験N2 ガス 1MPa·G で加圧し、スヌープ等で漏れがないこと、および 30 分間放置して顕著な漏れ(-0.1 MPa·G)がないことを確認すること。④冷却水通水試験所定の圧力条件(機器の出入口でのΔP＝0.5 MPa)において、所定の流量が(20 L/min 以上)流れることを確認すること。また、水温も記録すること。⑤ベーキング用ヒータ通電試験ベーキング用ヒータに通電を行い、ヒータ線と受光部が絶縁されていること、受光部が均一に昇温できることを確認すること。なお、ベーキング時には冷却水路の真空排気を行った状態で実施すること。⑥熱サイクル試験受光部本体をベーキング用ヒータにより 150℃まで昇温させ、30 分保持後 50℃まで自然冷却させる作業を 3 回繰り返し、その後上記 ②に記載のヘリウムリーク試験を行うこと。⑦受光部テーパ角度計測試験受光部のテーパ角度が既定値以内であることを確認すること。1.4.6. 内周通路側制御部への通線➀ 水流量接点 (FE主制御ラックへ) ：１本② 補償導線(温度センサー熱電対)(FE主制御ラックへ) (参考値)：４本1.5. 光軸調整用フィルタ(ADJFIL)1.5.1. 概要圧空動作により各種フィルタを挿入し放射光の低エネルギー成分を除去する。発生した熱は水冷により取り去る。専用の真空チェンバにSCM1と共に取り付けられる。低蓄積電流モードの光軸確認時にのみ使用する。材質はSUS304、SS、OFHC(水冷パイプ)、銅、アルミとする。(参考図；図1-1-5(a)70)1.5.2. 構成① 銅及びアルミフィルタを切り替えられる ADJFIL を ICF70 付きサファイアビューイングポート付きICF70取合の真空チェンバ(ADJFIL用チェンバ)に装備すること。② ADJFIL用チェンバには、後述のSCM1をビューイングポートも含めて取り付け可能なこと。1.5.3. 仕様① フィルタ切り替え機構には圧空シリンダ を用いること。２段式エアシリンダ駆動により、１軸で２つのフィルタ部を独立に選択できる(IN1、 IN2、OUTの３位置の選択)こと。② ADJFIL/OUT時におけるフィルタ部の最下点と光軸とのクリアランスが16mm以上確保出来る構造、ストロークとすること。➂ 直線導入器は、各フィルタ部の停止位置を微調できる機能を有すること。④ 真空外からフィルタの中心位置を光軸中心位置にあわせるための位置調整(水平・垂直方向)が可能であること。フィルタ材は銅板(厚さ1 mm；参考値)、アルミ板(厚さ1 mm；参考値)を使用すること。⑤ 冷却水入出部は金属製食い込み継手(Swagelok)を使用すること。⑥ 開⇔上部フィルタ、上部フィルタ⇔下部フィルタ間の駆動時間を1～2秒で調整できる構造であること。⑦ 受光部ホルダーと水冷パイプとのロウ付けは、十分な熱接触が得られるように隙間なくなされていること。⑧ ビーム軸フランジ(ICF70)の溶接取り付け精度はチェンバ軸に対して±0.2 mm以下(目標値)であること。⑨ チェンバを真空引きした際のフィルタ取り付け開口軸の変位量が、水平・垂直方向とも±0.1 mm以下を達成できる構造であること。⑩ 水平、垂直の位置調整機構が付いた台座(図1-1-5(a)70を参考)を設けること。 ⑪ 水冷却は継手を使用しない一筆書き構造とし、パイプの材質は無酸素銅とすること。⑫ ベローズ部の耐用回数(寿命)は10,000回以上であること。1.5.4. 据付仕様① 出荷前に、ビーム軸フランジ基準に対してフィルタ取り付け開口軸中心が±0.1 mm以下になるように調整すること。② ビーム軸フランジの設置精度はレール基準のビーム軸に対して±0.2 mm以下であること。③ 冷却水母配管からの枝配管を行うこと。④ 冷却水路のOUT側に接点付き流量計を設置すること。⑤ 圧空母配管からの枝配管を行うこと。⑥ 開⇔上部フィルタ、上部フィルタ⇔下部フィルタ間の駆動時間を1～2秒で調整すること。1.5.5. 内周通路側制御部への通線①エアシリンダ駆動及びリミットスイッチ用ケ－ブル(FE主制御ラックへ) ：１本②水流量接点(FE主制御ラックへ) ：１本1.6. スクリーンモニタ(SCM)1.6.1. 機能圧空動作によりアルミナ蛍光板を出し入れし、必要に応じて放射光を照射することにより光軸位置を測定する。専用の真空チェンバに取り付けられる。アブソーバ上流に設置するものをSCM1、ビームシャッター下流に設置するものをSCM2とする。低蓄積電流モードの光軸確認時にのみ使用する。(参考図: 図1-1-6(a),1-1-6(b))1.6.2. 構成(１台あたり)① SCMの受光部はアルミナ蛍光板(デマルケスト社AF995R相当品)とする。他の材質はSUS304、SSとする。② 受光部を出し入れ機構は圧空シリンダとする。③ SCM2はICF70付きサファイアビューイングポート付きSCM用真空チェンバに取り付けること。SCM1は(ビューイングポートも含めて)1.4項記載のADJFIL用チェンバに取り付けること。④ アルミナ蛍光板を観察するカメラ(仕様外)による観測が可能であること。カメラ(仕様外)取付のための支持台を持つこと。1.6.3. 仕様① 直線導入器は検出部入側の停止位置を微調できる機能(ストッパー位置可変)を有すること。② ビーム軸フランジの溶接取り付け精度はチェンバ軸に対して±0.2mm 以下(目標値)であること。➂ チェンバを真空引きした際のアルミナ蛍光板中心の変位量が、水平・垂直方向とも±0.1 mm以下であること。④ アルミナ蛍光板の取り付けはビーム軸に対して 45°とし、90°方向からのカメラ(仕様外)による観測が可能であること。⑤ 開閉駆動部は 40 mm 以上のストロークを備え、スピード制御付圧空シリンダ方式を採用し動作時間を2～3秒に調整できる構造であること。⑥ 水平、垂直の位置調整機構が付いた台座を設けること。(参考図: 図1-1-6(b))⑦ ベローズ部の耐用回数(寿命)は10,000回以上であること。1.6.4. 据付① 出荷前に、ビーム軸フランジ基準に対してアルミナ蛍光板中心が±0.1 mm以下になるように調整すること。② ビーム軸フランジの設置精度はレール基準のビーム軸に対して±0.2 mm以下であること。③ アルミナ蛍光板中心が床面基準点に基づいたビーム軸に対して±0.2 mm以下であることを確認すること。④ 圧空母配管からの枝配管を行うこと。⑤ 開閉の動作時間を2～3秒で調整すること。1.6.5. 内周通路側制御部への通線➀ エアシリンダ駆動及びリミットスイッチ用ケ－ブル(FE主制御ラックへ) ：１本② Webカメラ用LANケ－ブル(FE主制御ラックへ) ：１本1.7. アブソーバ(ABS)MPW型1.7.1. 概要ABS 本体は圧空機構により駆動ビームライン不使用時に放射光ビームを遮る。また使用時においてはマスクとして機能する。放射光による熱負荷は水冷却された GlidCop で受けて冷却する。ABSの上下流にはASB用ベローズニップルを設置する。ニップルはABの駆動に支障を与えないこと。また、駆動しても放射光ビームが当たらない寸法・形状であること。(参考図:図 1-1-7(a)MPW, 1-1-7(b)MPW,1-1-7(c))1.7.2. 構成(a) 本体部① 寸法: 560L×80W×80H(参考値)、ビーム軸取合フランジICF114/ICF114とする。(参考図: 図1-1-7(a)MPW, 1-1-7(b)MPW 参照)② 材質はGlidCop-AL15(受光部)、Cu コイル、SUS304、SSとする。③ 駆動用圧空シリンダ、駆動位置を取り出すリミットスイッチを有すること。④ アブソーバ本体のアライメント基準は、本体外面とすること(内面のビーム軸と本体外面が一致していること)。(b) 冷却水流路① 冷却水流路は内径 10 mm とし、流路内には直径 1.5 mm でピッチ 1 0mm、コイル外径 10 mmの銅線コイルをロウ付けにより取り付け、流路方向に沿って円周方向に一ヶ所固定すること。また、本固定が健全なものであることを工業用内視鏡等により確認すること。② 冷却水路は、図1-1-7(b),図3-1-(a)を参考に複数本設け、それらが直列となるような構造とすること。出荷前に所定の圧力条件(ΔP＝0.5 MPa)において所定の流量(20 L/min 以上)が流れることを確認すること。➂冷却水入出部は 金属製食い込み継手(Swagelok)を使用すること。冷却水入出部の短管と本体はEB 溶接で(ねじ込み式は不可)接続すること。(c )ヒータ① ベーキング用のプレートヒータ等を受光部本体外面に取り付けること。② ベーキング時の GlidCop の最大温度は 180℃とするが、ヒータ自身の能力としては 250℃までベーキング可能であること。(d)温度センサー① 温度センサーとしてJIS-K タイプで外径 1.6 mm の非接地型シース熱電対４個(参考値)をバヨネット型フィッティング等により本体に固定すること。➁ 熱電対補償導線と専用コネクタ(オメガ熱電対コネクタ相当品)を機器近傍に接続させること。 また、作業前に配管系統図を提出して承認を得ること。⑦ 冷却水路のOUT側に現場指示及びアラーム接点付き流量計を、L型スリットu、L型スリットdに各1台設置すること。1.9.2.2. XY スリット用精密駆動ステージＸＹスリット受光部をビーム軸に直交する水平方向及び垂直方向に精密に駆動する。駆動においてはパルスモータを使用し、パルスモータコントローラー、ドライバを介してコンピュータで制御するものとする。また、リミットスイッチや原点読みだしの機能を有し、駆動量を表示する機能が必要である。1.9.2.2.1. 構成① 超精密アライメント装置 XY 型(トヤマ製 0TA-00174-A 相当品)(図1-1-9(d))をＬ型スリットｕ及びＬ型スリットｄにそれぞれ1台用いる。② 超精密アライメント装置 XY 型はＸステージおよび精密Ｚステージから構成すること。パルスモータ(オリエンタルモータ製高トルク５相ステッピングモータPK569H-B 相当品)により駆動すること。③ ステージの性能としては、Ｘステージ：2 μm/１パルス、Ｚステージ：0.5 μm/１パルス(高精度減速装置を利用)以下であること。④ Ｘ、Ｚステージの可動範囲は以下のとおりとする。但し、実際の可動範囲(リミットスイッチの設定)については別途協議する。Ｘステージ ： －20 ～ +20 mmＺステージ ： －15 ～ +15 mm⑤ 繰り返し位置決め精度はＸ、Ｚステージとも±1μm 以内であること。⑥ ピッチング、ヨーイングはＸ、Ｚステージそれぞれに対して 5 秒以内であること。⑦ 真直度はＸ、Ｚステージともフルストロークに対して 1 μm 以内であること。⑧ 耐荷重は 80 kg 以上であること。⑨ リミットスイッチを有し、ロジックはＮＣ(ノーマルクローズ)とすること。⑩ エンコ－ダ(オムロン製ロータリーエンコーダ、インクリメンタル形、ラインドライバ出力 E6B2-CWZ1X(2000 P/R)相当品)を使用し、駆動量を表示する機能を有すること。また、エンコーダ本体のみコンパクトに遮蔽できる保護シールドボックス付きであること。⑪ 位置センサー(マグネスケール製マグネスイッチ SET- K2 相当品)による原点読みだし機能を有し、当センサーによる原点検知により駆動パルスを停止させることが可能であること。繰り返し精度はＸステージに対しては±5 μm 以内、Ｚステージに対しては±1 μm 以内であること。⑫ Ｘ、Ｚ両ステージとも動きは完全に独立であり、他方の動きにより影響を受けないこと。⑬ フロントエンド共通ビームに設置できる構造となっていること。⑭ エンコーダ本体のみコンパクトに遮蔽できる専用の遮蔽 BOX を取り付けること。⑮ リングトンネル内で用いるケーブルは耐放射線ケーブルとすること。⑯ エンコーダケーブル、パルスモータ駆動ケーブルと取り合える中継ボックス(図1-1-9(e ))を付属すること。1.9.2.2.2. 仕様① ビーム軸に対して、駆動系の原点をどの様に設定するかはQST担当者と協議の上決定すること。② リミットスイッチ、原点センサーの設定については別途協議の上決定すること。③ 繰り返し位置決め精度、ピッチング、ヨーイング、真直度はＸＹスリット受光部と組み合わせ、真空環境下で達成すること。また、これが不可能な場合には相当荷重の鉛等を載せた状態で達成すること。④ ケーブル・コネクターの形式及びピンアサインはQST担当者に確認すること。1.9.2.2.3. 据付① 精密駆動部の据え付けはリングトンネル床面基準点に対して行うこと。② 駆動部単体での設置精度は、ピッチング、ヨーイングについては 14 秒以内、ローリングについては水準器(0.02 mm/m/目盛)で 1 目盛り以内とする。詳細は別途協議する。1.9.2.3. 軸直角方向駆動用溶接ベローズ及び支持台ＸＹスリット受光部真空槽のビーム軸に対する軸直角変位を可能にする。支持台は ICF フランジあるいはフランジ付きニップルをフロントエンド共通架台にしっかりと固定するものである。1.9.2.3.1. 構成(a) 溶接ベローズタイプ１① 1ビームラインあたり2台とする。(参考図:図1-1-9(f))。② 溶接ベローズの自重によるたわみを極力抑えるため、ICF フランジ、接続管、溶接ベローズ、接続管、溶接ベローズ、接続管、ICF フランジといった構造とする。③ 溶接ベローズの長さは、ＸＹスリットで最大 15 mm 程度の軸直角変位を可能とするよう製作すること。④ 両側のフランジは ICF70RH／ICF114FH とし、面間寸法は 220 mm(参考値)とする。(b) 溶接ベローズタイプ２① ビームラインあたり１台とする。(参考図: 図1-1-9(g))② 溶接ベローズの自重によるたわみを極力抑えるため、ICF フランジ、接続管、溶接ベローズ、接続管、溶接ベローズ、接続管、ICF フランジといった構造とする。③ 溶接ベローズの長さは、ＸＹスリットで最大 15 mm 程度の軸直角変位を可能とするよう調整すること。④ 両側のフランジは ICF114RH／ICF114FH とし、面間寸法は 360 mm(参考値)とする。(c) 支持台① ビームラインあたり３台とする。(参考図: 図1-1-9(h)、(i))② 共通ビーム支持架台に設置できるような構造となっており、また支持架台の大きさは、XY スリットの上流側、下流側の機器の領域にかかるものではないこと。③ フランジ又は ICF フランジ付ニップルを固定するもので、共通架台の設置基準面から光軸までの高さ 300 mm を考慮すること。④ 駆動系の最大変位や、超高真空による如何なる影響も受けないような堅牢な構造であること。1.9.3. 工場出荷前試験工場出荷前に下記試験等を行うこと。詳細は別途協議する。1.9.3.1. 外観・寸法試験外観(特に真空内面)に有害な傷、変形、シミ・汚れ等のないことを確認すること。また納入仕様書に指示された主要寸法及び公差とおりであることを確認すること。(特にダブルスリット部)。1.9.3.2. ヘリウムリーク試験ベーキング前後においてリーク量が 1×10-11 Pa･m3/sec 以下であることを確認すること。1.9.3.3. 冷却水路耐圧・漏洩試験N2 ガス 1 MPa·G で加圧し、スヌープ等で漏れが無いこと及び 30 分間放置して顕著な漏れ(-0.1MPa·G)が無いことを確認すること。1.9.3.4. 冷却水通水試験所定の圧力条件(機器の出入口でのΔP＝0.5 MPa)において、所定の流量が(10 L/min 以上)流れることを確認すること。また、水温も記録すること。1.9.3.5. 動作試験駆動部の動作試験を行うこと。1.9.3.6. ベーキング用ヒータ通電試験ベーキング用ヒータに通電を行い、ヒータ線と受光部が絶縁されていること、受光部が均一に昇温できることを確認する。なお、ベーキング時には冷却水路の真空排気を行った状態で実施すること。 また、熱サイクル試験受光部本体をベーキング用ヒータにより 150℃まで昇温させ、30 分保持後 50℃まで自然冷却させる作業を 3 回繰り返し、その後上記第1.9.3.2項に記載のヘリウムリーク試験を行うこと。1.9.3.7. 受光部テーパ角度計測試験受光部のテーパ角度が既定値以内であることを確認すること。1.9.4. 内周通路側制御部設置機器① ステッピングモ－タドライバ(メレック製H-584/AD5610 1軸ユニット相当品) ：4台② ステッピングモータ制御装置(ツジ電子製PM16C-16EC2相当品) ：1台③ エンコ－ダ表示器(ツジ電子製ER4C-04A相当品) ：1台④ Yスリット開口制限ユニット(ツジ電子製T3956-01相当品) ：1台1.9.5. 内周通路側制御部への通線① 水流量接点(ＦＥ主制御ラックへ) ：1本② 補償導線(ＦＥ主制御ラックへ) ：2本③ パルスモ－タ駆動ケ－ブル(ドライバ、コントロ－ラへ) ：4本④ ロータリーエンコーダケーブル(エンコ－ダカウンタへ) ：4本1.10. ビームシャッター1.10.1. 概要必要に応じてタングステンブロックを光軸上に下ろすことにより実験ホール内に放射線が漏洩しないようにする。(参考図: 図1-1-10(a))1.10.2. 構成① 真空チェンバ本体の寸法を 400L×300W×750H 参考値)、遮蔽体(タングステン)の寸法を300L×70W×60H (プラス公差であること)とする。② 遮蔽体の材質はタングステン(日本タングステン社製ヘビーアロイHAC1相当品であること。相当品を使用する場合には、製作前に真空特性試験を行いQST担当者の承認を得ること)、 他はSUS304、SS、とする。③ タングステンブロックの駆動に エアシリンダを用いること。④ ベローズは、材質AM350、変位量50 mm以上、耐用回数(寿命)100,000回以上、耐熱温度250℃とする。1.10.3. 仕様① シャッターの開状態と閉状態を検出するために２連高耐久型リミットスイッチを２組設置すること。各リミットスイッチの信号は独立(パラ)に、1つのコネクタを介した多芯ケーブルで取り出すこと。② 加速器安全インターロックシステムに出力するための閉状態信号用として、上記①項に記載のもの以外に、閉側に高耐久型リミットスイッチを１組設置すること。③ 真空配管の熱膨張を吸収できるよう可動型台座(図1-1-10(b))を採用すること。④ ビーム軸フランジの溶接取り付け精度はチェンバ軸に対して±0.2 mm以下であること。⑤ シャッター閉状態の遮蔽体軸精度はチェンバ軸に対して±0.2mm 以下であること。⑥ 遮蔽体はタングステンの含有量が95.0％以上であり、実寸法は300.0L×70.0W×60.0H以上(プラス公差)であること。⑦ FE/PLC 制御盤からの動作指令によるステータス状況を返信できるダミーリレーを 1 個付属品として納入すること。⑧ 開閉の動作時間が8～9秒程度で調整できる構造であること。1.10.4. 工場での組立・調整① チェンバ及び遮蔽体を別々に単独で高温ベーキングを行い、圧力に異常がないことを確認すること。② 次にチェンバの中に遮蔽体を入れた状態でベーキングを行い、圧力に異常がないことを確認すること。また、質量分析計によるマス分析を行い、異常がないことを確認すること。③ 輸送時に機器の性能を損なわない荷姿とすること。必要に応じて、遮蔽体を再度チェンバから取り外し別々に梱包・出荷・輸送すること。なお、チェンバは真空引きを行い、真空封止の状態で納入すること。真空封止部にはガス導入バルブを使用し、ベント時に操作し易い構造とすること。1.10.5. 現地での組立・調整及び据付仕様① アライメント基準はビーム軸フランジ中心とすること。② ビーム軸フランジの設置精度はレール基準のビーム軸に対し±0.2 mm以下であること。③ 圧空母配管からの枝配管を行うこと。④ 圧空枝配管には逆流防止弁と、リザーバータンク(3 L)を設置すること。⑤ リザーバータンクの機器取合配管部は、クイックカプラ取り合いとすること。⑥ 開閉の動作時間を8～9秒で調整すること。1.10.6. 内周通路側制御部への通線① エアシリンダ駆動用及びリミットスイッチ用ケ－ブル(ＦＥ主制御ラックへ) ：1本② 安全系リミットスイッチ用ケ－ブル(FE主制御ラックを経由して加速器安全インターロック側端子台へ。最大100 m程度)：1本1.10.7. 提出書類① タングステンブロックのミルシ－ト② タングステンブロックの寸法試験結果1.11. ゲートバルブ1.11.1. 概要フロントエンド真空系を分割することによってフロントエンド保守を容易にする。放射線環境下で使用するので全金属製とする。MPW 型フロントエンドのオールメタルバルブ1 式は、ICF114 取合が1台、ICF70取合が3台の合計4台から構成される。1.11.2. 構成(１式あたり)① オールメタルゲートバルブ/ICF114取合(VAT製 48236-CE44相当品) ：1台② オールメタルゲートバルブ/ICF70取合(VAT製 48132-CE44相当品) ：3台③ バネ支持台(参考図: 図1-1-11(a)) ：3個1.11.3. 仕様① 厳しい放射線環境下で使用するため、シール部(ボンネット、ゲート)は全て金属製であること。② 圧空作動式であり、複動シリンダ、開閉リミットスイッチ付き、DC24V電磁弁付きであること。③ コモンコネクタ(VAT製S48/DN40用「243895」)を準備し電磁弁/本体間に配線すること④ バルブボディの耐熱温度は300℃(延長アクチュエータ型)であること。⑤ シール面の変形は弾性変形の範囲内であること。⑥ 閉位置で機械的ロックがかかる構造であること。⑦ バルブボディ、バルブシートのリーク量は1×10-11 Pa·m3/sec以下であること。⑧ ICF114取合GVのサイズはICF114(DN63)、面間距離は75 mm、開口サイズはφ63 mm以上であること。⑨ ICF70取合GVのサイズはICF70(DN40)、面間距離は72 mm、開口サイズはφ40mm以上であること。⑩ アクチュエータの動作電圧はDC24Vであること。⑪ PLC からの動作指令によるステータス状況を返信できるダミーリレーを 1 個付属品として納入すること。1.11.4. 据付① 共通レールへの据付に際しては、バネ支持台で支持すること。② GV1は、端部排気真空槽用架台から支持すること。③ 圧空母配管から枝配管を行うこと。1.11.5. 内周通路側制御部への通線① ゲ－トバルブ駆動用ケ－ブル(ＦＥ主制御ラックへ) ：各１本(計4本)1.12. 高速ビームシャッター(FCS)1.12.1. 概要真空漏れ事故時シャッターを高速に(10ミリ秒以下)下ろすことによって大気の蓄積リング真空系への流入を阻止する。1.12.2. 構成① 高速シャッター(VAT製77336-CE44相当品) ：１個② 支持台(参考図: 図1-1-12(a)) ：１個1.12.3. 仕様① 高速シャッター用真空センサーのトリガー信号を受けてからシャッター閉止までの時間が10 ms以下であること。② 圧空作動式であり、複動シリンダ、開閉リミットスイッチ付き、DC24V 電磁弁付きであること。③ シャッターの駆動はスロットシャッター方式であること。 ④ ボンネットのシールはメタルであること。また軸シールはベローズであること。⑤ 材質はステンレス製であること。⑥ ボディーのリーク量は1×10-11 Pa·m3/sec以下であること。⑦ 耐放射線性能として、108 Gy(シャッターボディ)、104 Gy(圧空アクチュエータ)以上であること。⑧ サイズはICF114(DN63)で、面間距離は60 mmであること。また、開口サイズは50 mm(W)× 35 mm(H)以上であること。⑨ バルブボディの耐熱温度は300℃であること。⑩ 専用の緊急遮断システムコントローラによる制御が可能であること。1.12.4. 据付① 端部排気真空槽用架台から支持すること。また、据え付けに際しては、支持台で支持すること。バネ支持台ほ参考図としているが、この限りではない打ち合わせの上決定する。② 圧空母配管から枝配管を行うこと。1.12.5. 内周通路側制御部設置機器① 高速シャッターコントローラ(VAT製770VF-16NN-AHN2相当品) ：1式1.12.6. 内周通路側制御部への通線① 高速シャッター駆動用ケ－ブル(緊急遮断シャッターシステムへ) ：1本1.13. シールド壁貫通管1.13.1. 概要リングトンネルと実験ホールを仕切るシールド壁を突き抜けて放射光を取り出すための真空配管である。(参考図: 図1-1-13(a))1.13.2. 構成① シ－ルド壁貫通管：１個及びシールド材(鉛)：１式からなる。➁ 材質はSUS304、鉛 とする。また、ベーキングヒータを装備する。1.13.3. 仕様① 融点の低い鉛シールドブロックがこの配管を取り囲むため、ベーキングヒータを配管外壁に埋め込むことによって鉛の熔融を避けるような構造とすること。② 配管のベーキング温度を測定するためにあらかじめ熱電対(Kタイプ)を4本程度取り付けらるようにして置くこと。③ ビーム軸フランジの溶接取り付け精度はチェンバ軸に対して±0.2 mm以下であること④ 配管長尺方向の真直度は±0.2 mm以下であること。⑤ ビーム軸フランジと本体チェンバ部との溶接はネック部で行うこと。1.13.4. 据付① ビーム軸フランジの設置精度は床面基準点に基づいたビーム軸に対して±0.2 mm以下(目標±0.1 mm以下)であること。② 本器を設置後、シールド壁穴と本器との間に鉛ブロックを多層に分けて隙間なく詰めること。鉛ブロックのビーム軸方向の長さは、リングトンネル側に開けられている400 mm角の開口A(ライン図参照)の全域とする。必要に応じて鉛毛を使用すること。作業前に 1 層毎の鉛ブロック配列図を提出し、QST担当者の承認を得ること。詳細は別途指示する。③ 本器設置後のシールド壁穴部の埋め戻し作業については、１層設置ごとにカラー写真撮影を行い提出すること。撮影時には曲尺をあてて、ラチェット面からの寸法が分かるようにすること。④ 蓄積リング運転時かつビームシャッター閉時において、実験ホール側への放射線漏洩が安全基準を超えた場合、安全基準以下になるよう迅速に壁穴の遮蔽補強を行うこと。⑤ 本機器を遮蔽壁(壁内、壁外の両側)に固定する支持部を準備すること。1.13.5. 提出書類① シールド壁穴部の鉛埋め戻し時の１層毎のカラー写真② 1.12.4 ②項に記載の鉛ブロック配列図③ 鉛ブロックのミルシート1.14. 光電子モニター1.14.1. 概要光電子モニター(I0M)は、ＸＹスリット受光部等の駆動可能な高熱負荷機器を、光軸に対して軸調整する時に使用されるもので、実験ホール光学ハッチ内に設置される。光電子モニターの挿入は圧空駆動で行う。(参考図: 図1-1-14(a))1.14.2. 構成① I0M本体および専用真空チャンバからなる。② I0M駆動用エアシリンダを有する。③ 材質はSUS304、SS、金箔とする。1.14.3. 仕様① 受光部には厚さ 100μm 程度の金箔を使用し、光電子放出による光電流が測定出来るようになっていること。ビームサイズはφ18 mmまでとする。また、金箔を絶縁するための絶縁材として、厚さ1 mm以下の窒化アルミ等を使用し、金箔の両側に挟むことこと。② I0Mを設置するための真空チャンバとして、面間200 mmのICF70六方クロス等を準備すること。 継手間のズレを吸収するために、200 mm程度の金属フレキホースを継手毎に挟むこと。詳細は打ち合わせの上決定する。④ 最高使用圧力は1MPaとすること。⑤ 各母管(IN, OUT)の合流部より上流に圧力計(現場表示のみ)を設けること。⑥ 各母管(IN, OUT)に水抜き用バルブを設けること。⑦ 各母管(IN, OUT)終端付近にバイパス用バルブを設け、金属フレキシブルホーズで接続すること。⑧ 保守用、水抜き用バルブには封止栓を取り付けておくこと。⑨ 母管(IN, OUT)の最上流端及び最下流端に手動エア抜き用配管(図3-1-(c))を設けること。配管径はφ4 mm以下とし、ニードルバルブを設けること。-⑩ 流量計の警報接点は無電圧接点とすること。信号は中継端子台を介してインターロックへ取り込むこと。流量計とはテフロンコネクタ取り合いとすること。⑪ 流量計は東京計装製 FA4000 シリーズ相当品(禁油処理)とすること。⑫ XY スリット MPW 型は、L 型スリット u 型、d 型に別々に流量計を設置すること。なお、警報接点は u 型、d 型をシリーズに接続してインターロックへ取り込むこと。⑬ 実験ホールに設置されるI0Mへの配管をシールド壁底のピットを通して行うこと。ピット中はステンレス製フレキ配管とし、その他は全てステンレス固定配管とすること。継手は金属製食い込み継手(Swagelok)を使用し、ピット内や増し締めが行いにくい場所では継手を設けないこと。架台等を利用して配管の固定を行うこと。3.4. 各機器の通水・必要流量① 母配管及び各機器への枝配管終了後、窒素ガスとスヌープを用いた耐圧(1.0 MPa)漏洩(0.8 MPa)試験を行うこと。② 耐圧漏洩試験に合格後、十分なフラッシングを行った後、各系内のフラッシングを行うこと。さらに、2 日間程度の連続通水を行った後、ストレーナのメッシュ(100メッシュ)を汚染が激しいときは新品に交換すること。なお、連続通水後の循環水の電気伝導率が施設循環水相当の電気伝導率(1μS/cm 以下)であることを確認すること。詳細は別途協議する。③ 下表に示す水流があることを確認すること。この値に達し得ない場合は原因を追及し、配管の改造等で対処すること。表機 器 名 称 必要流量(L/min) バルブサイズ、配管径(参考値)フォトンダクトアブソーバ １０ 1/2”、φ10前置マスク １０ 1/2”、φ10光軸調整用フィルタ １０ 1/2”、φ10固定マスク MPW 型 ２０ 3/4”、φ16アブソーバ MPW 型 ２０ 3/4”、φ16XY スリット MPW 型 ２０(各１０) 3/4”、φ12×2 台I0M ５ 1/2”、φ103.5. 冷却水配管仕様フロントエンドの各冷却水配管は以下の仕様を満足しなければならない。① 配管類の接続は金属製食い込み継手(Swagelok)を用いること。② リングトンネル内は金属配管(基本的にSUS304)とすること。③ 最高使用圧力は1MPaとすること。④ 各機器への枝配管の接続には、基本的に金属製食い込み継手(Swagelok)を使用すること。他の接続方法を採用する際にはQST担当者の承認を得ること。⑤ 各機器への枝配管において、原則として16 mm以下はミリ基準の配管を、3/4”以上はインチ基準の配管を使用すること。⑥ 個別機器用の接点付き水流量計(現場表示機能も必要)は、東京計装製FA-4000シリーズ(材質構成は耐放射線仕様、下限警報でロジックがノーマルクローズのもの)相当品であること。禁油処理を施すこと。⑦ 接点付き水流量計の警報接点は無電圧接点とすること。信号は中継端子盤を介してインターロックへ取り込む。流量計とはテフロンコネクタ(MOLEX相当品)取り合いとすること。⑧ 金属フレキホースを使用の際は、機器の駆動方向に留意し、継手に負荷のかからないようにすること。⑨ フロントエンドの冷却水循環系は純水(電気伝導率1 μS/cm以下)を使用しているため、配管内の清浄度管理を徹底させること。例えば、ノンオイル加工で切断する、溶接を行う際にはバックシールで配管内の酸化を防止する、酸洗した場合には酸が残らないように純水等で充分に洗浄し窒素ガスブローをする、等を実施すること。4. フロントエンド圧空母配管部4.1. 概要ライン図にある圧空駆動する機器へ圧搾空気を供給するための配管を敷設する。作業前に全体の配管系統図をQST担当者に提示し、承認を得た後に作業にとりかかること。各仕様はビームライン 1 本あたりのものである。(参考図: 図4-1-(a))① 全ての圧空配管終了後に漏洩試験(圧力0.5 MPa)を実施し、1時間保持で減圧が 5%以下であることを確認すること。② 継手は金属製食い込み継手(Swagelok)(フェルールも含めて金属仕様)とすること。4.2. 主バルブ、取り合い点リングトンネルの天井から外側遮蔽壁面に沿って施設側圧空配管が設置されており、床上高さ約2 m地点に取合バルブ(15A)が存在する。これより先を本仕様の範囲とする。バルブの直下流にティを入れ、リング真空系とフロントエンド系に分岐するバルブ(15A)を設置する。分岐バルブから母配管まではステンレス配管とすること。基本的に全て金属配管(シンフレックスチューブは不可)とすること。4.3. レギュレータ① 施設側から供給される0.7 MPaの圧力を0.5 MPaに減圧すること。② フィルタ付きのレギュレータを用いること。③ 圧空供給側に逆流防止弁を設けること。4.4. 圧空母配管① フロントエンド共通レールに沿わせてφ15 mmの金属配管(アルミ)を敷設すること。② 圧空枝配管用取り合い点を、保守用も含めた必要個数、適切な位置に設けること。取合部はクイックカプラ取り合い(日東工器；BSBM-2P相当品)とすること。③ 接点付き圧力計を設けること。④ 実験ホール側に配管への配管は本母管よりシールド壁底のピットを通して行い、ミニヘッダーを設けること(保守用含む)。I0M及びGV4への枝配管はミニヘッダーから行うこと。4.5. 圧空配管仕様フロントエンドの各圧空配管は以下の仕様を満足しなければならない。① 配管類の接続は金属製食い込み継手(Swagelok)を用いること。② リングトンネル内は全て金属配管とすること。③ 最高使用圧力は0.8 MPaとすること。5. フロントエンド制御盤部5.1. 機器仕様① 基本的に高さ 2.1 m の鍵付き扉付き EIA 規格(42U)に準拠した 19 インチラック 1台以上を準備し(以下「FE 主制御ラック」という。)、支給品(FEPLC制御盤及びEtherCATマスターカード搭載ラックマウントサーバ)を含む制御盤部構成機器を組み込むこと(参考図: 図5-1-(a))。詳細は別途協議の上決定すること。② フロントエンドの制御に必要な全てのケーブルを準備すること。③ 上位の加速器インターロックシステム、安全インターロックシステム等と取り合うために必要な全ての盤内配線を実施するとともに、取合コネクタ(別途指示)も準備すること。 5.2. 真空ポンプ制御装置下記の各装置をFE主制御ラックに収納すること。① ノーブルポンプ制御装置(キヤノンアネルバ製P-521NP相当品) ：3台② ノーブルポンプ制御装置(キヤノンアネルバ製P-511NP相当品) ：1台③ サブリメーション制御装置(キヤノンアネルバ製SR-TVP-050相当品) ：1台④ タイバックポンプ切替器制御装置 ：1台・ タイバックポンプ切替器本体はリングトンネル内に設置すること。・ タイバックポンプは内周通路に設置されるタイバック切替器制御装置によってフラッシング対象となるタイバックポンプが選択(最大4台)でできること。・ サブリメーション制御装置によって当該タイバックポンプに電源を供給できる配線を敷設すること。5.3. 真空計制御装置下記の装置をFE主制御ラックに収納すること。① 電離真空計制御装置(キヤノンアネルバ製M-923DD相当品) ：4台5.4. 高速シャッター制御装置下記の装置をFE主制御ラックに収納すること。①緊急遮断シャッターシステム(VAT製770VF-16NN-AHN1相当品) ：1台ただし、以下の機器から構成されていること。1)基本デバイス(VAT製VF-2相当品) ：１個2)コントロールモジュール(VAT製) ：１個3)HVセンサーモジュール(VAT製) ：２個4)バルブモジュール(VAT製) ：１個5.5. ステッピングモータ駆動制御関連装置下記の各装置をFE主制御ラックに収納すること。① ステッピングモータ制御装置(ツジ電子製PM16C-16EC2相当品) ：1台② ステッピングモータドライバ(メレック製H-584/AD-5610 1軸ユニット相当品) ：4台③ エンコーダ表示器(ツジ電子製ER4C-04A相当品；4ch表示 :1台④ XYスリット開口制限ユニット(ツジ電子製T3956-01相当品) ：1台XYスリット開口制限ユニットによりXYスリットの開口が規定値(可変であること)以上に拡がらないようにすること。5.6. 瞬時電圧低下保護装置下記の装置をFE主制御ラックに収納すること。➀ 瞬時電圧低下保護装置 指月電機製作所 YS10BC12C1RA(相当品) :1台5.7. FE/PLC制御盤支給するFE/PLC制御盤1台をFE主制御ラックに収納すること。➀ FE/PLC制御盤は現場モードでFE機器の制御を行うとともに、上位のインターロックシステムとの取り合いとなる。➁ FE/PLC制御盤への信号入力コネクタ付きケーブルを製作し接続すること。③ 必要により現地納入前に工場内で取り合い確認試験を行うこと。なお、試験に必要な機器/接点信号は受注者側で準備すること。試験には支給するFE/PLC制御盤を使うこと。詳細は別途協議の上決定すること④ FE/PLC操作盤による圧空駆動のためのDC24Vを準備すること。5.8. ラックマウントサーバ支給するラックマウントサーバ1台をFE主制御ラックに収納すること。FE/PLC制御盤を介しフロントエンド機器を監視する。上位のネットワークシステムとの取り合いとなる。5.9. スイッチングハブ下記のスイッチングハブをFE主制御ラックに収納すること。➀ レイヤー2 PoE Webスマートギガスイッチ(ELECOM EHB-SG2B16F-PL相当品) :1台機器 相当品/仕様真空ポンプ制御装置ノーブルポンプ制御装置キヤノンアネルバ製P-521NP 3台ノーブルポンプ制御装置キヤノンアネルバ製P-511NP 1台サブリメーション制御装置キヤノンアネルバ製SR-TVP-050 1台タイバックポンプ切替器制御装置・切替器本体は蓄積リングトンネル内に設置すること。・内周通路に設置されるタイバックポンプ切替器制御装置によってフラッシング対象となるタイバックポンプが選択(最大4台)でできること。・サブリメーション制御装置によって当該タイバックポンプに電源を供給できる配線を敷設すること。1台真空計制御装置電離真空計制御装置 キヤノンアネルバ製M-923DD 4台高速シャッター制御装置緊急遮断シャッターシステムVAT製770VF-16NN-AHN1以下の機器から構成されていること。1) 基本デバイス(VAT製VF-)：１個2) コントロールモジュール(VAT製)：１個3) HVセンサーモジュール(VAT製) ：２個4) バルブモジュール(VAT製) ：１個1台ステッピングモータ駆ステッピングモータ制御装置ツジ電子製PM16C-16EC2 1台動制御関連装置ステッピングモータドライバメレック製H-584/AD-5610 1軸ユニット 4台エンコーダ表示器 ツジ電子製ER4C-04A相当品；4ch表示 1台XYスリット開口制限ユニットツジ電子製T3956-01(XYスリットの開口が規定値(可変であること)以上に拡がらないようにすること。)1台瞬時電圧低下保護装置瞬時電圧低下保護装置指月電機製作所 YS10BC12C1RA 1台FE/PLC制御盤FE/PLC制御盤 支給品 1台ラックマウントサーバEtherCATマスターボード搭載ラックマウントサーバ支給品 1台スイッチングハブレイヤー2 PoE ギガスイッチELECOM EHB-SG2B16F-PL 1台5.10. 据付・通線仕様制御盤部据付・通線仕様は、FE 主制御ラックの設置と、蓄積リングトントンネル内の機器と内周通路のラック間の配線(ケーブルも含む)、ラック内の盤内配線により構成される。蓄積リングトンネルから内周通路及び実験ホールへの配線はピットを通して行う。必要に応じてピット蓋(縞鋼板もしくはグレーチング)に切り欠きを加工すること。詳細はQST担当者と相談すること。① FE主制御ラックは内周通路の指定場所にアンカーで固定すること。可搬式FE補助ラックは指定場所に設置し、必要な通線を行うこと(十分な余長を考慮すること)。② リングトンネル内の配線は放射線環境下であることを考慮し、基本的に、架橋ポリエチレンを絶縁体とする難燃エコケーブル(IEEE準拠)を用いること。また、基本的に全ての配線の端部には識別可能なタグを取り付けること。LANケーブルは、エコケーブル(EM ケーブル)あるいは、電気用品安全法の耐燃性JISC3005傾斜試験に適合したケーブル(規格：Cat6、UTP、両端RJ45端子)であること。③ リングトンネル内の各機器と内周通路側制御盤部間のケーブルはリングトンネル床下に設けられた3本のピット穴(φ100 mm)を通して配線すること(図5-1-(b))。MPW型で必要なケーブルの最大長さは約20 m程度とするが、図5-1-(b)に記載の制御盤部からリングトンネル内ピットまでの直線距離を参考とし、受注後に測量を行って、余長を含めた各ケーブルの最適長さを決定すること。低容量のケーブルは多芯ケーブルにまとめ、リングトンネルと内周通路(FE主制御ラックを想定)に中継端子盤を設けて、配線の断面積を極力小さくするように心がけること。なお、敷設ケーブルの内、QSTが指定するものについては、実装長さをリストにして提出すること。④ 主制御ラック用電源は、内周通路を挟んだ反対側壁に設置されている分電盤(各セルに1台。(参考図:図5-1-(d)))内に、1本のフロントエンド用として、・3φ210 V/30 A(粗排気ポンプユニット用)・1φ3W210 V/20 A(FE主制御ラック用)・1φ10 5V/30 A(FE主制御ラック用)・1φ105 V/15 A(保守作業用)の各ブレーカが準備されている。 この分電盤が取り合い点である。内周側の縦方向のケーブルラダーは全周に8箇所設けられている。ただし、FE主制御ラックへの立ち下げ用ラダー等の施設側で準備されていないケーブルラダーは全て準備すること。⑤ 3φ210 V/30 A(粗排気ポンプユニット用)と1φ105 V/15 A(保守作業用)は、直接リングトンネル内に配線を行い、リングトンネル内にもブレーカ(各1個)を設置すること。さらに、100 V系にはテーブルタップを、200 V系には粗排気ポンプユニットに接続可能なコネクタを接続しておくこと。また、FE/PLC制御盤及びラックマウントサーバ(共に支給品)とブレーカの間には瞬低保護装置を配置すること。⑥ 共通ビーム支持架台の通線ルートには、金属製カッティングダクトを設置し、配線はこの中に納めること。配線の詳細は別途協議のうえ決定すること。⑦ 全ての接点付水流量計及び圧空用接点付圧力計の信号ケーブルは、各流量計，圧力計の近傍で、テフロンコネクタ(MOLEX)取り合いとすること。⑧ 高熱負荷機器(固定マスク、アブソーバ、XYスリット)本体に取り付けられる熱電対は、機器本体近くの熱電対専用コネクタと、リングトンネル側中継端子盤の２ヶ所で中継し、内周通路側で監視できるようにすること。また、各配線の端末には識別可能なタグを取り付けること。⑨ FE/PLC制御盤に必要な各種真空機器のステータス信号や接点信号を取り出し、端子台/コネクタ取り合いとすること。取り合いについては別途協議の上決定すること。FE/PLC制御盤及びラックマウントサーバと上位ネットワークへの取り合いはRJ45取り合いとする。パッチパネル、パッチケーブルを用い接続すること。⑩ 高速シャッター、電離真空計、イオンポンプ等の制御装置の出力からも、FE/PLC制御盤加速器に必要な信号を取り出すこと。必要に応じて拡張端子台を設けること。取り合いについては別途協議の上決定すること。⑪ステッピングモータのケーブル・コネクターの形式及びピンアサインについては別途協議の上決定すること。⑫ ステッピングモータ制御関連機器については、モーター部、ドライバ、コントロ－ラ間の全ての配線を行い(図5-1-(c)MPW)、ドライバのディップスイッチの設定も行うこと。なお、XYスリットMPW型の精密駆動ステージに関して、コントローラからCW方向に送った際の移動方向が下記のようになる(必要に応じて反転ケーブル反転コネクタを使用する)こと。X軸：放射光を背に受けた状態で右側(実験ホール側)がCWY軸：鉛直上方がCW⑬ 図5-1-(d)に従って、開口制限ユニット、エンコーダカウンタ、ステッピングモータ制御装置間の配線を行い、動作確認試験を行うこと。⑭ FE制御ラックから加速器インターロックラックまではU/UTPインナーシースケーブル(規格：Cat6、24芯ケーブルを持いること。(参考図:図5-1-(d))⑮ FE主制御ラックから蓄積トンネルに通線しFE共通架台付近にAC200V及び100V用コンセントを設けること。詳細は別途協議する。6. フロントエンド機器共通仕様フロントエンドにおいて、各装置が共通に満たすべき真空仕様、冷却水配管仕様、圧空配管仕様を以下に示す。6.1. フロントエンド真空装置仕様フロントエンドの各真空装置は原則として以下の共通仕様を満足しなければならない。➀ リーク量は1×10-11 Pa･m3/sec以下であること。➁ アルミホイルを被せた状態で 250℃のベークアウト温度が達成できるようなヒータを取り付けること。ヒータは原則としてプレートヒータやシースヒータを採用すること。当該ヒータが装備できない機器に対してはリボンヒータ、ラバーヒータ等を準備すること。なお、各ヒータはクランプメータによる計測が容易に行える形状であること。③ 共通ビームに搭載される真空機器は、共通ビームを用いたアライメントに適合した専用架台(共通レール対応架台)を有していること。ただし、各真空機器の共通レール対応架台は、複数の共通レールに跨がらないこと。④ 真空フランジの溶接による取り付け誤差は特に指定なきものについて±0.5 mmとする。⑤ タップ穴、ボルト穴の加工誤差は±0.2 mmとする。ただし、真空フランジについてはJIS規格に従うこと。⑥ SS製ベース板上に真空装置を支持している場合は、低熱伝導型支柱(図(C)-03)を採用すること。⑦ 超高真空部分と水冷却部分との間に溶接等の接合部が存在しないこと。また、冷却水路と本体部とのクリアランスは5 mm以上設けること。⑧ 各真空装置部にはその軸芯を示すケガキ線をいれること。⑨ 超高真空機器の組立・運搬の際は、真空又は乾燥した環境下に保持されなければならない。銅製部品の含まれる機器については、特に注意すること。⑩ 真空チェンバ内面は超高真空対応の処理(電解研磨処理、洗浄、清浄度管理)を施すこと。⑪ 真空計のゲージポートのコネクタ取合い部は、ケーブルの曲げ弾性等による負荷がかからないような構造・ケーブル配線とすること。⑫ 電磁弁及びリミットスイッチ等の部品の選定には耐放射線性を考慮し、日本において容易に入手可能なものであること。6.2. フロントエンド冷却水配管仕様フロントエンドの各冷却水配管は以下の仕様を満足しなければならない。➀ 配管類の接続は金属製食い込み継手(Swagelok)を用いること。➁ リングトンネル内は金属配管(基本的にSUS304)とすること。③ 最高使用圧力は1MPaとすること。④ 各機器への枝配管の接続には、基本的にSwagelokを使用すること。他の接続方法を採用する際にはQST担当者の承認を得ること。⑤ 各機器への枝配管において、原則として16 mm以下はミリ基準の配管を、3/4”以上はインチ基準の配管を使用すること。⑥ 個別機器用の接点付き水流量計(現場表示機能も必要)は、東京計装製FA-4000シリーズ(材質構成は耐放射線仕様、下限警報でロジックがノーマルクローズのもの)相当品であること。禁油処理を施すこと。⑦ 接点付き水流量計の警報接点は無電圧接点とすること。信号は中継端子盤を介してインターロックへ取り込む。流量計とはテフロンコネクタ(MOLEX相当品)取り合いとすること。⑧ 金属フレキホースを使用の際は、機器の駆動方向に留意し、継手に負荷のかからないようにすること。⑨ フロントエンドの冷却水循環系は純水(電気伝導率1 μS/cm以下)を使用しているため、配管内の清浄度管理を徹底させること。例えば、ノンオイル加工で切断する、溶接を行う際にはバックシールで配管内の酸化を防止する、酸洗した場合には酸が残らないように純水等で充分に洗浄し窒素ガスブローをする、等を実施すること。6.3. フロントエンド圧空配管仕様フロントエンドの各圧空配管は以下の仕様を満足しなければならない。 ➀ 配管類の接続は金属製食い込み継手(Swagelok)を用いること。➁ リングトンネル内は全て金属配管とすること。③ 最高使用圧力は0.8 MPaとする。ライン表: MPW(参考値)機器名 開口、H×V(mm)長さ(mm)備考真空ニップル φ59.5 350 ICF114/ICF114変換真空ベローズ(TYPE1M) φ59.5 150 ICF114/ICF152PDA152型 220前置マスクMPW型 IN80×36､OUT33×20150 ICF152/ICF152端部排気真空槽(EVPC) 300 ICF152/ICF152、IG1変換フランジ(152/114) 20 ICF152/ICF114真空ベローズ(TYPE3) φ59.5 150 ICF114/ICF114オールメタルバルブ(ICF114) φ60.2 75 支持台付き、GV1真空ニップル φ59.5 85高速シャッターDN63型 50×35 60 ICF114、支持台付きニップル φ59.5 1104 ICF114、パイプ支持台付き真空ベローズ(TYPE3) φ59.5 150 ICF114/ICF114排気真空槽1(VPC1) 300 IG2、ICF114/ICF152、FCSセンサー付き真空ベローズ(TYPE4) φ95.6 180 ICF152/ICF152固定マスクMPW型 18×10 560 ICF152/ICF70真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70光軸調整用フィルタ70型＋SCM1200 スクリーンモニタU型及びSCM1含む、ICF70/ICF70真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70アブソーバMPW型 14×10 1040 ベローズ＋本体＋ﾍﾞﾛ-ｽﾞ、上流ベローズは支持付鉛コリメ－タ φ23 340 独立支持架台ニップル φ35 1032 ICF70真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70オールメタルバルブ(ICF70) φ35 72 バネ支持台付き、GV2排気真空槽2(VPC2) φ35 250 IG3、ICF70/ICF70真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70ＸＹスリットMPW型 1860真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70オールメタルバルブ(ICF70) φ35 72 バネ支持台付き、GV3排気真空槽2(VPC3) φ35 250 IG4、FCSセンサー付き真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70スクリーンモニタ(SCM2) φ35 140真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70ビームシャッター(BS) 400BS下流ベローズ φ35 280シ－ルド壁貫通管 30×20 1300真空ベローズ(TYPE2) φ35 130 ICF70/ICF70光電子モニター 200オールメタルバルブ(ICF70) φ35 72 バネ支持台付き、GV4、ブランクフランジ付きライン図: MPW型フロントエンド機器配置図(配置図)材質:: SUS304、SS単位:: mm① 排気真空槽C型本体②タイバックポンプ➂ タイバックポンプ④ オールメタルバルブ⑤ バイトンバルブ⑥ 光電子抑止型ゲージポート⑦ BAゲージ⑧ 高速シャッタ用真空センサ ②①⑦③④⑤⑥⑧300上面図側面図図1-1-1(a)MPW: VPC1 組立図(参考図)材質:: SUS304、SS単位:: mm① 排気真空槽A型本体②タイバックポンプ➂ タイバックポンプ④ オールメタルバルブ⑤ポリイミドバルブ⑥ 光電子抑止型ゲージポート⑦ BAゲージ②③④①⑦⑤⑥250ICF70/FH ICF70/FT上面図側面図図1-1-1(b): VPC2 組立図(参考図)材質: SUS304、SS単位: mm① 排気真空槽A型本体② タイバックポンプ➂ タイバックポンプ④ オールメタルバルブ⑤ ポリイミドバルブ⑥ 光電子抑止型ゲージポート⑦ BAゲージ⑧ 高速シャッタ用真空センサ②③④①⑦⑤⑥250ICF70/FH ICF70/FT⑧上面図側面図図1-1-1(c): VPC3 組立図(参考図)図1-1-1(d)MPW: EVPC 組立図(参考図)材質: SUS304、SS単位: mm①端部排気真空槽本体② オールメタルバルブ➂ ポリイミドバルブ④光電子抑止型ゲージポート⑤ BAゲージ⑥ NEGポンプ⑦真空チェンバ④⑤⑥②③300ICF 152ICF 152⑦上面図側面図図1-1-1(e ) : 排気真空槽300型本体(参考図)ICF114/FH ICF152/FT480300239.5300基準面材質:: SUS304, SS単位::: mm300上面図側面図図1-1-1(f) : 排気真空槽250型本体(参考図)480300239.5300基準面250ICF70/FH ICF70/FT130 120材質::: SUS304, SS単位::: mm上面図側面図図1-1-1(g)MPW: チャンバ付き端部排気真空槽本体(参考図)材質:: SUS304, SS単位:: mm上面図300ICF152FH240ICF70FT300110ICF152FH120180ICF114FHICF70FT基準面 239.5ICF114FH240158 側面図材質:: SUS304, SS, フェライト磁石ICF114ICF114光電子抑止部ICF114フランジ付きBAゲージ光電子抑止部詳細フェライト磁石SUSSSメッキ図1-1-1(h):光電子抑止型ゲージポート(参考図)図1-1-2(a)152：フォトンダクトアブソーバ152型(参考図)SR220放射光照射領域ICF152 ICF152材質::SUS304、SS、無酸素銅(OFHC/C1011)単位:: mm180ICF70FHICF114FTOFHC (C1011)冷却ﾁｬﾝﾈﾙSUS304+0.480 -033+0-0.420+0-0.4+0.436 -0図1-1-3(a)MPW： 前置マスクMPW型 (参考図)110材質：SUS304,OFHC単位:mm図1-1-4(a)MPW： 固定マスクMPW型全体図(参考図)熱電対(4本)560ベーク用ヒータ300ICF152-FHICF70-FHICF152-FH/SUS304 ICF70-FH/SUS304A A矢視A-A図1-1-4(b)MPW：固定マスクMPW型 (参考図)8010018501018テーパ： 1/21.9.'56040 350 30単位::mmSR光軸調整用フィルターフィルタ-部詳細光軸調整用フィルター200ICF70/FTSCM1ICF70/FTICF70 ビューポート300239.5図1-1-5(a)70：光軸調整用フィルター70型(参考図)材質: SUS304, SS, OFHC, 銅、アルミ単位: mm170 140図1-1-6(a)：スクリーンモニター(参考図)301309-1キリアルミナ蛍光板詳細ViewingPortICF70SR材質; SUS304, アルミナ蛍光板他単位: :mm3001610239.5300材質:: SUS304単位:: mm図1-1-6(b)：スクリーンモニタ台座(参考図)300アブソーバMPW型本体駆動部ベローズニップルベローズニップル240ベーク用ヒータ240560熱電対(4本)SR共通ビーム図1-1-7(a)MPW：アブソーバMPW型全体図(参考図)単位:: mm材質: GlidCop-AL15、 SUS8#9, 他単位:: mm5608080101426BABAB_B断面A_A断面ICF114-FH/SUS304ICF114-FH/SUS304320420 MBS開での光軸高さMBS閉での光軸高さ17320 40 600.5(最小幅部)クサビ板テーパ1/25図1-1-7(b)MPW：アブソーバMPW型本体(参考図)18(駆動範囲)φ6024075 55φ90ICF114-FH ICF70-RH圧力内部：真空、外部：大気ベローズ内径φ60材質AM350 (ベローズ)、他SUS304姿勢水平変位量 軸直角方向25mm (上下に±12.5mm)寿命1×106 回備考パイプ内面、電解研磨処理＜仕様＞図1-1-7(c)MPW：アブソーバ用ベローズ(参考図)単位:: mm300300200鉛(300×200×200)定尺：50×100×200300239.52-ICF70FTAA崩落防止プレートを設置のこと200F.L鉛用サポートチェンバ用サポート図1-1-8(a)：鉛コリメータ(参考図)矢視A-A鉛開口 φ29OD25×ID23ヒーター材質: 鉛, SUS304,SS(ニッケルメッキ)単位: :mm図1-1-9(a)MPW：XYスリットMPW型全体組立図(参考図)1860530 360 530SRXYスリット受光部(L型スリットu)ベローズパイプタイプ1共通ビームベローズパイプタイプ2ベローズパイプタイプ1XYスリット受光部(L型スリットd)支持台精密駆動ステージ熱電対(1本)熱電対 (1本)材質: SUS304, OFHC/C101, 他単位: mm図1-1-9(b)：XYスリット受光部概念図(参考図)530420OFC/C1011スリット原点ダブルスリット(ヘビーメタル)隅角部はR0.05mm以下であること。 2 B14-S：BURNDY 12極ｿｹｯﾄｺﾝﾀｸﾄ (G6A14-92SNE-JG)3 B12-P：BURNDY 8極ﾋﾟﾝｺﾝﾀｸﾄ (G6A12-88PNE-JG)ｺﾈｸﾀ ケーブル タグ記号 ｺﾈｸﾀ 収納部側機器内周通路側FE主制御盤図5-1-(c)MPW：MPW型FE_ステッピングモータ系通線(参考図)：エンコーダ用カウンター ：ドライバ：コントローラB14-S 複合12芯(PMﾀｲﾌﾟ2) SLIT-LOWER B12-PDE9SB14-S 複合12芯(PMﾀｲﾌﾟ2) SLIT-LEFT B12-PDE9SB14-S 8芯(エンコーダ) E-SLIT-LOWER SRCN-10PB14-S 8芯(エンコーダ) E-SLIT-LEFT SRCN-10PXYｽﾘｯﾄ(上流)B14-S 複合12芯(PMﾀｲﾌﾟ2) SLIT-UPPER B12-PDE9SB14-S 複合12芯(PMﾀｲﾌﾟ2) SLIT-RIGHT B12-PDE9SB14-S 8芯(エンコーダ) E-SLIT-UPPER SRCN-10PB14-S 8芯(エンコーダ) E-SLIT-RIGHT SRCN-10PXYｽﾘｯﾄ(下流)XYス リ ッ トB14-S 複合12芯 B12-P開口制限ユニットエンコーダカウンタード ラ イ バB14-S8芯エンコーダSRCN-10PSRCN-10PINOUTSRCN-10P DE9SPM16CコントローラDE9SDE9S図5-1-(d )：XYスリット開口制限ユニット通線詳細(参考図)X1：Left (Ring) ブレードX2：Right (Hall)ブレードY1：LowerブレードY2：Upperブレード図5-1-(d)： 内周通路側配線詳細(参考図)分電盤加速器真空系ラック加速器安全インターロックラックFE主制御ラック100m程度50m程度50m程度1φ3W210 V/20 A1φ10 5V/30 ACat6、24芯ケーブル信号線