（RE-06817）TIARA静電加速器設備イオンビーム照射チャンバーの更新【掲載期間：2025年9月18日～2025年11月9日】

（RE-06817）TIARA静電加速器設備イオンビーム照射チャンバーの更新【掲載期間：2025年9月18日～2025年11月9日】 - 1 -入 札 公 告次のとおり一般競争入札に付します。令和7年9月18日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 大小原 努◎調達機関番号 804 ◎所在地番号 12○第36号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 購入等件名及び数量TIARA静電加速器設備イオンビーム照射チャンバーの更新 一式(3) 調達件名の特質等 入札説明書による。(4) 履行期間 入札説明書による。(5) 履行場所 入札説明書による。(6) 入札方法 落札決定に当たっては、入札書に記載された金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に１円未満の端数があるときは、その端数金額を切り捨てるものとする。)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税及び地方消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった契約金額の110分の100に相当する金額を- 2 -入札書に記載すること。２ 競争参加資格(1) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１０条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者については、この限りでない。(2) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１１条第１項の規定に該当しない者であること。(3) 令和7年度に国の競争参加資格(全省庁統一資格)を有している者であること。なお、当該競争参加資格については、令和7年3月31日付け号外政府調達第57号の官報の競争参加者の資格に関する公示の別表に掲げる申請受付窓口において随時受け付けている。(4) 調達物品に関する迅速なアフターサービス・メンテナンスの体制が整備されていることを証明した者であること。(5) 当機構から取引停止の措置を受けている期間中の者でないこと。３ 入札書の提出場所等(1) 入札書の提出場所、契約条項を示す場所、入- 3 -札説明書の交付場所及び問い合わせ先〒263-8555 千葉市稲毛区穴川４－９－１国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 財務部 契約課 電話 043-206-6262E-mail:nyuusatsu_qst@qst.go.jp(2) 入札説明書の交付方法 本公告の日から入札書受領期限の前日17：00までの間において上記3(1)の交付場所にて交付する。また、電子メールでの交付を希望する者は必要事項(調達番号、件名、住所、社名、担当者所属及び氏名、電話番号)を記入し3(1)のアドレスに申し込むこと。ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。(3) 入札説明会の日時及び場所 開催しない。(4) 入札書の受領期限令和7年11月10日17時00分(5) 開札の日時及び場所 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 千葉地区 会議室令和7年11月27日11時00分４ その他(1) 契約手続において使用する言語及び通貨日本語及び日本国通貨。(2) 入札保証金及び契約保証金 免除。(3) 入札者に要求される事項 この一般競争に参- 4 -加を希望する者は、封印した入札書に本公告に示した物品を納入できることを証明する書類を添付して入札書の受領期限までに提出しなければならない。入札者は開札日の前日までの間において、当機構から当該書類に関し説明を求められた場合は、それに応じなければならない。(4) 入札の無効 本公告に示した競争参加資格のない者の提出した入札書、入札者に求められる義務を履行しなかった者の提出した入札書、その他入札説明書による。(5) 契約書作成の要否 要。(6) 落札者の決定方法 本公告に示した物品を納入できると契約責任者が判断した入札者であって、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構が作成した予定価格の制限の範囲内で最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。(7) 手続における交渉の有無 無。(8) その他 詳細は入札説明書による。なお、入札説明書等で当該調達に関する環境上の条件が定められている場合は、十分理解した上で応札すること。５ Summary- 5 -(1) Official in charge of disbursement of theprocuring entity:OKOHARA Tsutomu , Directorof Department of Financial Affairs, NationalInstitutes for Quantum Science and Technology. (2) Classification of the products to be procured :24(3) Nature and quantity of the products to bemanufactured:Update of the ion beam irradiationchamber of TIARA electrostatic acceleratorfacility 1set(4) Delivery period : As shown in the tenderDocumentation(5) Delivery place : As shown in the tenderDocumentation(6) Qualifications for participating in the tenderingprocedures : Suppliers eligible for participatingin the proposed tender are those who shall :A not come under Article 10 of the Regulationconcerning the Contract for NationalInstitutes for Quantum Science andTechnology, Furthermore, minors, Personunder Conservatorship or Person underAssistance that obtained the consentnecessary for concluding a contract may be- 6 -applicable under cases of special reasonswithin the said clause,B not come under Article 11(1) of theRegulation concerning the Contract forNational Institutes for Quantum Scienceand Technology,C have qualification for participating intenders by Single qualification for everyministry and agency during fiscal 2025D prove to have prepared a system to providerapid after-sale service and maintenance forthe procured products,E not be currently under a suspension ofbusiness order as instructed by NationalInstitutes for Quantum Science andTechnology. (7) Time limit of tender :5:00 PM, 10, November, 2025(8) Contact point for the notice : Contract Section,National Institutes for Quantum Science andTechnology, 4-9-1 Anagawa, Inage-ku, Chiba-shi 263-8555 JAPAN(TEL.043-206-6262, E-mail: nyuusatsu_qst@qst.go.jp)- 7 -( 9) Please be noted that if it is indicated thatenvironmental conditions relating to theprocurement are laid down in its tenderdocuments. TIARA静電加速器設備イオンビーム照射チャンバーの更新仕様書国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構1Ⅰ 一般仕様1. 件名TIARA静電加速器設備イオンビーム照射チャンバーの更新2. 目的本仕様書は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下「量研」という。)高崎量子技術基盤研究所が運用するイオン照射研究施設(TIARA)における静電加速器設備の高経年化対策の一環として、静電加速器のイオンビーム照射チャンバーの更新を実施するものである。3. 業務内容(1) マニピュレータ及びイオンビーム照射チャンバー本体の設計・製作(2) 真空排気系システムの設計・製作(3) 制御システムの設計・構築(4) 既存装置の撤去(5) 新規照射チャンバーの設置・据付け調整(6) 配線工事など付随する作業4. 納期期限令和8年3月31日5. 納入場所及び作業期間(1) 納入場所群馬県高崎市綿貫町１２３３量研 高崎量子技術基盤研究所 複合ビーム棟内指定場所(2) 作業期間令和8年1月下旬～令和8年3月下旬詳細な作業期間については別途協議の上決定する。なお、協議内容は議事録にまとめて提出することとする。6. 納入条件据付け調整後渡し7. 検査条件５．の納入場所に据付け後、員数検査、外観検査及び技術仕様の４．に定める試験・検査並びに提出図書の合格をもって検査合格とする。28. 据付け作業に必要な資格等(1) 据付け作業実施者は放射線作業従事者の有資格者であること。(2) 搬入・搬出において、施設内のクレーンを使用する場合は、クレーン運転業務特別教育及び玉掛技能講習の修了者等の有資格者が作業すること。9. 保証• 技術仕様に定める機器・装置及び制御システムの機能要件を満たし、一般ユーザーによる操作・制御が安全かつ簡易にできること。• イオンビーム照射チャンバー本体及びビームラインの到達真空度が<E-５Pa台以下であること。10. 提出図書図書名 提出時期 部 数 確認工程表 契約後速やかに1部※確認後電子データ提出のこと要確認図(図面・仕様) 製作開始前1部要議事録 速やかに 1部 要作業計画書(作業手順書、作業責任者及び従事者名簿を含む)作業開始前までに※作成前には量研と十分協議を行い柔軟な工程とすること。3部 要試験検査要領書 検査着手前1部要試験検査成績書 検査終了後 ３部 不要作業日報 当日終了後速やかに 1部 不要作業報告書 作業終了後速やかに 1部 不要取扱説明書 納入時 3部及び電子データ不要ラダー図 納入時 ３部及び電子データ不要完成図 納入時 3部及び電子データ不要3その他必要な書類(放射線業務従事者指定登録に係る書類、火気使用願、従業員就業届など)速やかに 1式 要再委託承諾願(量研指定様式)契約後速やかに※下請負等がある場合に提出のこと。１式 要(提出場所)量研 先進ビーム利用施設部 利用管理課11. 貸与品据付け作業において、以下の物品・設備等は量研が貸与する。• 天井クレーン、セオドライト、台車、工具• 施設付帯設備及び備品• 控室作業に必要な電気、水等は無償で支給する。また必要に応じて追加の支給品又は貸与品がある場合は協議の上決定する。ただし、使用に当たっては量研職員の許可を得ること。12. 品質管理本装置に係る設計・製作・据付け等は、全ての工程において、次の事項等について十分な品質管理を行うこととする。(1) 管理体制(2) 設計管理(3) 外注管理(4) 現地作業管理(5) 試験・検査管理13. 適用規定(1) 労働安全衛生法(2) 日本工業規格(JIS)(3) その他設計・製作・据付け等に関し、適用又は準用すべき全ての法令・企画・基準等14. 知的財産権等知的財産権等の取扱いについては、別紙の知的財産権特約条項に定められたとおりとする。415. 機密保持受注者は、本業務の実施に当たり、知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂行以外の目的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開示、提供を行ってはならない。16. 安全管理16.1 一般安全管理(1) 作業計画に際し綿密かつ無理のない工程を組み、材料、労働安全対策等の準備を行い、作業の安全確保を最優先としつつ、迅速な進捗を図るものとする。また、作業遂行上既設物の保護及び第三者への損害防止にも留意し、必要な措置を講ずるとともに、火災その他の事故防止に努めること。(2) 作業現場の安全衛生管理は、法令に従い受注者の責任において自主的に行うこと。(3) 受注者は、作業着手に先立ち量研と安全について十分に打合せを行った後着手すること。(4) 作業中は、常に整理整頓を心掛ける等、安全及び衛生面に十分留意すること。(5) 受注者は、本作業に使用する機器、装置の中で地震等により安全を損なうおそれのあるものについては、転倒防止策等を施すこと。16.2 放射線管理(1) 放射線管理及び異常時の対策は、量研の指示に従うこと。(2) 放射線作業を行う者は、量研の発行するOSLバッジと IDカードを着用すること。(3) 据付け調整作業を開始する前に、受注者側作業員は量研が行う保安教育を受けること。ただし、放射線に関する知識及び特殊健康診断については、受注者側で教育及び受診させること。17. 特記事項(1) 受注者は量研が量子科学技術に関する研究・開発を行う機関であるため、高い技術力及び高い信頼性を社会的に求められていることを認識し、量研の規程等を遵守し安全性に配慮し業務を遂行しうる能力を有する者を従事させること。(2) 受注者は業務を実施することにより取得した当該業務及び作業に関する各データ、技術情報、成果その他の全ての資料及び情報を量研の施設外に持ち出して発表若しくは公開し、又は特定の第三者に対価を受け、若しくは無償で提供することはできない。ただし、あらかじめ書面により量研の確認を受けた場合はこの限りではない。(3) 受注者は異常事態等が発生した場合、量研の指示に従い行動するものとする。(4) 作業期間の変更が必要となった際には、別途協議の上決定する。なお、協議内容5は議事録にまとめて提出することとする。18. グリーン購入法(1) 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)が発生する場合は、これを採用するものとする。(2) 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。19. 環境活動への協力本契約の履行に当たっては、量研が定める「環境方針」に則り、量研の環境活動に協力すること。20. 協議本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項に関して疑義が生じた場合は、量研と協議の上、その決定に従うものとする。 なお、協議内容は議事録にまとめて提出することとする。Ⅱ 技術仕様イオンビーム照射チャンバーは、静電加速器のビームラインに接続されており、実験試料の精密位置調整や試料ステージ移動を用途とするマニピュレータが一体となったイオンビーム照射チャンバー本体、ビームラインや真空排気系のバルブ類と真空排気ポンプや真空計等から構成させる真空排気系システム及び制御システム(ビームのサイズを調整するための四極スリット、照射野を制限するアパーチャースリット、ビームのON/OFFを制御するビームシャッター等とそれらを操作する制御盤)が主な構成機器となる実験装置である。1. 構成本仕様書の範囲における構成は次の通りとする。各詳細は、2.仕様事項のとおりとする。1.1 マニピュレータ及びイオンビーム照射チャンバー本体(1) マニピュレータ ２セット(TA/IAのみ)(2) イオンビーム照射チャンバー本体(参考図1-1参照) ２台(TA/IAのみ)(3) 冷却機能付き標準試料台(参考図1-2参照) ２台(TA/IAのみ)(4) 試料台挿入ポートフランジ及びベローズ １セット(MTのみ)(5) 装置架台 2台(TA/IAのみ)61.2 真空排気系システム(TA/IA/MT)(1) 真空排気ポンプ類、真空計、バルブ類及び付随品 3セット(2) 真空排気系制御機器及び制御プログラム 3セット1.3 制御システム(TA/IA/MT)(1) 現場操作機器及び遠隔操作機器 3セット(2) 制御機器及び制御プログラム 3セット(3) ファラデーカップ(アパーチャーアタッチメント含む) 2台(TA/IAのみ)(4) 四極スリット 2台(TA/IAのみ)(5) アパーチャースリット 2台(TA/IAのみ)(6) ビームシャッター 3セットTA、IAは各1台で2セット、MTは3台で1セットとする。(7) 試料モニタリング装置 3台2. 仕様事項2.1 マニピュレータ及びイオンビーム照射チャンバー本体の設計・製作(1) イオンビーム照射チャンバー本体a. TA、IAで各1台(計2台)を製作すること。b. 素材はSUS304 とし、内部表面処理は電解研磨＋SMC洗浄＋450℃ 10時間高真空脱ガス処理(脱ガス処理中真空度1x10-4Pa以下)を施すこと。c. サイズは内径４００㎜×高さ５２０㎜程度とすること。d. 底にＭ４タップ配列のプレートを設けること。e. 試料電流測定用のサプレッサー電極を設けること。サプレッサー電極には試料視認用スリットを2つ設け、金属メッシュを取り付けること。また、片方は着脱式の金属製の蓋カバーを被せる構造にすること。f. ビーム入射ポートの上流に圧空式ゲートバルブを設けること。g. 内壁には、取り外し可能な防着板を取り付けること。h. 上蓋の上下は、油圧式または電動モーター式のマニピュレータ(リフター)及び電動モーター式の旋回マニピュレータ(リフター)を備えること。i. 旋回マニピュレータは次の仕様とすること。① 垂直方向に上下移動(ストローク：５００㎜)② 水平方向に旋回移動③ 上下/旋回をスイッチ操作j. 上蓋に次の仕様の３軸モータ駆動式マニピュレータを設置すること。① 接続フランジ(bottom/top)：ICF152② 溶接ベローの内径：80㎜以上③ Ｘ軸(水平)：±12.5㎜以上(精度＜０．１㎜)7④ Ｚ軸(垂直)：１５０㎜以上(精度＜０．１㎜)⑤ Ｒ(回転)：±180°(精度＜０．１°)⑥ 駆動部リミット機能k. イオンビーム照射チャンバー本体及び上蓋に次のポートを設けること。① ビーム入射ポート(ICF114×１)② 試料モニタリングカメラ設置用ビューポート(ICF70×2)③ 赤外線温度センサー設置用ビューポート(ＩＣＦ３４×１)④ 照射位置方向汎用ポート(ICF７０×４)⑤ 排気用ポート(ICF２０３×3)⑥ 側面汎用ポート(ＩＣＦ１５２×６、ＩＣＦ１１４×１、ＩＣＦ７０×１１、ＩＣＦ３４×２)⑦ 底面ファラデーカップ設置用ポート(ＩＣＦ１１４×１)⑧ 底面汎用ポート(ＩＣＦ15２×１、ＩＣＦ１１４×１)⑨ 上蓋マニピュレータ設置用ポート(ＩＣＦ１５２×１)⑩ 上蓋汎用ポート(ＩＣＦ１１４×１、ＩＣＦ３４×８)l. 参考図： 図１－１、図１－２m. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(2) 冷却機能付き標準試料台a. TA、IAで冷却水による冷却機能付き各1台(計2 台)を製作すること。b. 素材は銅とし、1面が50㎜×160㎜の六角柱とすること。c. 冷却機能付きの試料台の配管はSPカプラ1/4を用いること。d. マニピュレータへは支柱を介してＩＣＦ１５２フランジで接続すること。e. 支柱の中に信号ケーブルを通せる構造とすること。f. 六角柱と支柱(グラウンドレベル)は電気的に絶縁させること。g. マニピュレータに接続するＩＣＦ１５２フランジに信号端子を設けること。h. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(３)試料台挿入ポートフランジ及びベローズの交換(MTのみ)ICF253溶接ベローズ 面間２００mm(４)装置架台(TA/IAのみ)a. TA、IAで各1台(計2台)を製作すること。b. スチール製で19インチラック規格のねじ穴を設けること。c. 床コンクリートにアンカーボルトにて固定すること。架台等を床に固定する際は、ホールインアンカーによる施工方法とし、床へ水等が染み込まないようにエポキシ樹脂等で防水処理を行うこと。8d. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。2.2 真空排気系システム(1) 真空排気系システム(TA/IA)a. 各1セット(計2セット)を製作すること。b. 制御プログラムを設計の上、2.3制御システムで使用するタッチパネル上で操作し、オート/マニュアル制御ができること。c. 次の機器構成とすること。① ８００L相当のターボ分子ポンプ回転数がデジタル表示で直読できること。② ５００L相当のドライポンプ(NeoDry30G相当)③ ICF２０３圧空式ゲートバルブ④ 粗びき用配管⑤ アイソレイトバルブ⑥ ICF３４チャンバーリーク弁⑦ 真空計一式i. ゲージコントローラ(INFICON VGC083相当)表示がデジタルで低真空から高真空まで連続に直読できること。ii. 冷陰極ゲージ(INFICON MAG０６０相当)又は熱陰極電離真空計(INFICON BAG055相当)iii. ピラニゲージ(INFICON PGE050相当)iv. その他ケーブル等⑧ 大気圧センサー⑨ 経路は参考図2のとおりとする。d. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(2) 真空排気系システム(ＭＴ)a. 制御プログラムを設計の上、2.3制御システムで使用するタッチパネル上で操作し、フルマニュアル制御とすること。b. 次の機器構成とすること。① 800L相当のターボ分子ポンプ回転数がデジタル表示で直読できること。② ゲートバルブi. TMPの上(圧空式)ii. ビーム入射ポート(圧空式、3本のビームラインに1台ずつ)9③ 粗びき用配管④ アイソレイトバルブ⑤ リークバルブ(手動/自動を切替できること。)i. 排気系リークii. チャンバーリークiii. その他⑥ 真空計一式i. ゲージコントローラ(INFICON VGC083 相当)表示がデジタルで低真空から高真空まで連続に直読できること。 ii. 冷陰極ゲージ(INFICON MAG０６０ 相当)iii. ピラニゲージ(INFICON PGE050 相当)iv. その他ケーブル等c. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。2.3 制御システム(1)TA/IA用は、次の仕様にて各1セット(計2セット)の設計・製作すること。a. PLCで構築すること。b. デスクトップPC操作で次のビーム照射関連機器を計測制御すること。また、ビーム照射関連機器の詳細は、(3)～(7)の通りとする。ただし、(6)については、aからcの通り、(7)については、aからeの通りとする。① マニピュレータ 3軸② 四極スリット ４軸③ アパーチャースリット 3軸④ ビームシャッター in/out⑤ ファラデーカップ in/out⑥ 試料モニタリング用カメラ(映像取得・保存、マーキング等)⑦ 温度計測⑧ 電流計測⑨ サプレッサー電源on/off⑩ レーザー on/off⑪ LED照明 調光c. タッチパネル操作で次の真空排気系機器を計測制御すること。① ゲートバルブ status/in/out② アイソレイトバルブ status/close/open③ チャンバーリーク弁10④ ドライポンプ on/off⑤ TMP status/on/off⑥ 真空値計測⑦ 大気圧センサー⑧ ブザーd. デスクトップPCはEthernetを介してイオンビーム照射チャンバー本体付近と計測室に1台ずつ設置すること。e. タッチパネルはイオンビーム照射チャンバー本体付近にラックを設置し組み込むこと。f. 計測室のデスクトップPCを介して所内ネットワーク上のPCからWEBブラウザで簡易操作ができること。g. ビーム電流を既存のカレントインテグレータ(ORTEC439)で変換したパルス信号をＰＬＣのカウンタユニットで取り込み、照射量に応じてビームシャッターを制御すること(カウンタ/タイマー照射)。h. 必要に応じてインターロック機構を設けること。i. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(２)ＭＴは、次の仕様にて1セットの設計・製作すること。a. PLCで構築すること。b. デスクトップPCはEthernetを介してイオンビーム照射チャンバー本体付近と制御室に1台ずつ設置すること。c. デスクトップPC操作で次の機器を制御、表示すること。詳細は、(6)のdからg及び～(７)の f からhの通りとする① 3台のビームシャッター in/out② 3台のビームスキャナーの設定(周波数、波形、OUTPUT)③ 試料モニタリング用カメラ(映像取得・保存、マーキング等)d. 計測室のデスクトップPCを介して所内ネットワーク上のPCからWEBブラウザで簡易操作ができること。e. 必要に応じてインターロック機構を設けること。f. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する(3) ファラデーカップa. TA、IAで各1台(計2台)を製作すること。b. カップの素材は炭素とし、内径50㎜深さ50㎜程度とすること。カップの前面へ容易に取付け取り外しが可能なアパーチャーアタッチメントをTA、IAで各1台(計２台)を製作すること。11c. イオンビーム照射チャンバー本体底面のICF114ポートに設置し、圧空式直線導入機構にて１００㎜程度上下駆動すること。５００V印加できるサプレッサー電極を設けること。d. ＩＣＦ１１４フランジに電流用(ＢＮＣ)と高圧用(ＳＨＶ)の端子を設けること。e. 参考図： 図3‐１、図3‐２f. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(4) 四極スリットa. TA、IAで各1台(計2台)を製作すること。b. ＩＣＦ１１４フランジの変形6ポート配管(ＧＢＢ処理)の4ポート(水平/垂直)に直線導入機構(モータ駆動)を接続する構造とすること。c. 可動範囲±１０㎜(リミット機能付)、位置分解能0．１㎜以下とすること。d. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(5) アパーチャースリットa. TA、IAで各1台(計2台)を製作すること。b. ＩＣＦ114フランジの4ポート配管(ＧＢＢ処理)の上部に直線/回転導入及びXステージ機構(３軸モータ駆動)を接続すること。c. １面のサイズが縦50㎜×横30㎜程度の3面(内角120°)構造で、各面に２～3パターンのアパーチャースリットを設けること。d. 可動範囲は上下100㎜程度(リミット機能付)、回転±６０°のステップ駆動(‐６０°、０°、＋６０°)とすること。e. 参考図： 図4f. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(6) ビームシャッターTA/IA用は、次のaからcの仕様にて各1セット(計2セット)の設計・製作するものとし、MT用は、次のdからgの仕様にて１セットの設計・製作すること。a. ＩＣＦ114フランジの3ポート配管(ＧＢＢ処理)の上部から直線導入機構(圧空駆動)を接続する構造とすること。b. シャッタープレートが６０㎜程度上下に駆動すること。c. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。d. MTの3本のビームラインに各1 台(計3台)を製作すること。e. 各ビームラインのICF１５２フランジに設置すること。f. 上記ＩＣＦ152フランジの上部から直線導入機構(圧空駆動)を接続する構造と12すること。g. 特記事項確認図により詳細な寸法等を決定する。(7) 試料モニタリング装置TA/IA用は、次のaからeの仕様にて各1セット(計2セット)とし、MT用は、次の f からhの仕様にて１セットの設計・製作すること。a. TA、IAで各1台(計2台)とすること。b. 小型標準カメラ＋レンズで構成すること。c. 映像信号はPLCに取り込みPC上に表示すること。d. 試料モニタリングカメラ設置用ポート(ICF７０)に設置すること。e. ビューポートには鉛ガラスカバーを設置すること。f. MT用として小型標準カメラとレンズを4台ずつ設置すること。g. 映像信号は同軸ケーブルで制御室のモニターに送信することとし、1つのモニターに4映像同時表示および1映像表示の切り替えができるようにすることh. MTの試料モニタリングカメラ設置用ポート(ICF７０)に設置すること。2. 既存装置の撤去既存装置(参考図5)については、据え付けされている同装置や配線類等の取り外しを行った上で、量研が指定する場所へ運搬すること。作業に際して、その後新規装置を設置するため、既存設備・施設との取り合いを考慮の上、詳細等を事前協議したのち、作業を実施すること。3. 新規イオンビーム照射チャンバーの設置・据付け調整作業及び配線工事等それに付随する作業新規イオンビーム照射チャンバーの設置・据付け調整作業及びそれに付随する作業(配線作業など)について、次に定める作業を実施すること。3.1 一般事項本件の据付調整の実施に当たっては、関係法令及び次に掲げる所内規程等を遵守し、事前に量研と十分協議を行った上で、作業開始前に作業計画書の提出などを行うこと。 1. 放射性同位元素等の規制に関する法律2. 高崎量子技術基盤研究所放射線障害予防規程3. 高崎量子技術基盤研究所放射線安全取扱手引4. 高崎量子技術基盤研究所安全衛生管理規則5. 高崎量子技術基盤研究所電気工作物保安要領3.2現地作業①現地作業を実施する場合は、据付調整作業開始までに日程調整含めて作業計画書を提13出して確認を得ること。②作業責任者を配置し、量研における作業安全に係る規定、規則等の遵守を図り、災害発生防止に努めること。③作業は、量研の勤務時間内に実施すること。ただし、緊急を要し量研が承諾した場合は、所定の手続きを経た上で業務時間外に実施することができる。④他の機器、設備に損害を与えないよう十分注意すること。万一そのような事態が発生した場合は、遅滞なく量研に報告し、その指示に従って速やかに現状に復すること。⑤作業責任者は、現地作業終了後、速やかに作業報告書を提出すること。⑥作業員は、十分な知識及び技能を有し、熟練した者を配置すること。また、資格を必要とする作業については、有資格者を従事させること。⑦量研の構内への入退域及び物品、車両等の搬出入に当たっては、量研所定の手続きを遵守すること。3.3作業範囲及び作業仕様①新規イオンビーム照射チャンバーの搬入設置及び既存装置の撤去搬出作業②機器据付作業➂配管作業④電気配線作業⑤各機器の動作確認、試運転4. 試験・検査据付け及びシステム構築後、次の検査を行うこと。(1) He リーク検査(＜1.0E-9Pa・m3/sec)(TA/IAのみ)(2) 真空排気機器の制御システム(タッチパネル)による動作試験a. オートモードによる真空排気/大気開放(TA/IAのみ)b. マニュアルモードによる操作c. 到達真空度(<E-５Pa台以下)(3) 照射実験装置機器の制御システム(PC)による動作試験(TA/IAのみ)a. 照射室PCによる操作b. 計測室PCによる操作c. カウンタ/タイマー照射d. 所内ネットワークPCによる簡易操作(WEBブラウザ)(4) ビーム輸送試験(TA/IAのみ)a. アライメントの確認b. ビーム電流測定(ファラデーカップ電流、試料電流)c. 試料モニタリング(画像保存、マーキング等)14(5) 各種インターロック機構の動作試験5. 付属品(1) 試料ホルダー ４８枚• 照射試料を固定し、標準試料台に取り付けるSUS製のプレート(参考図２－１及び２－２参照)• 確認図により詳細な寸法等を決定する。(2) 各種セラミックス部品 各５０個• 確認図により詳細な寸法等を決定する。(3) ビューポートフランジ① ICF３４ ×２個② ICF７０ ×６個③ ICF１１４ ×４個④ ICF１５２ ×１２個(4) ビューポートカバー① ICF７０用 ×４個② ICF１１４用 ×４個③ ICF１５２用 ×１２個(5) 変換フランジ① ICF１５２/ICF７０ ×４個② ICF２０３/ICF１５２ ×４個(6) 導入端子① ICF３４/SHV-ピン ×４個② ICF３４/BNC-ピン ×４個③ ICF３４/１００A電流端子 ×４個(7) ブランクフランジ① ICF３４ ×８個② ICF７０ ×２０個③ ICF１１４ ×４個④ ICF１５２ ×２個⑤ ICF２０３ ×２個(8) 銅ガスケット 各種必要分(9) LED照明(外部調光可) ×３台(10) チラー(冷却機能付き標準試料台用) ×２台6. 添付書類15(1) 参考図１―１ TA/IAイオンビーム照射チャンバー本体のイメージ図(2) 参考図１－２ TA/IAイオンビーム照射チャンバー ３軸マニピュレータのイメージ図(3) 参考図2 TA/IA真空排気系経路のイメージ図(4) 参考図3―１ TA/IAイオンビーム照射チャンバー用ファラデーカップのイメージ図(5) 参考図3―2 FCアパーチャーアタッチメントのイメージ図(6) 参考図4 アパーチャースリット(TA/IA共通)のイメージ図(7) 参考図5 既存装置の撤去箇所(要求者)部課(室)名 ： 高崎量子技術基盤研究所 先進ビーム利用施設部利用管理課氏名 ： 石堀 郁夫参考図２チャンバーロータリーポンプターボポンプゲートバルブゲートバルブゲートバルブ排気ゲートバルブ静電加速器のビームラインチャンバー内をターボポンプ及びロータリーポンプを停⽌させず、チャンバーを⼤気開放、かつ、再度ロータリーポンプからの真空引きができるような経路とする。 TA(或いはIAチャンバー)関係(概略⼨法160x220cm)現場操作盤(概略60x80x180cm)遠隔操作盤(概略60x80x160cm)参考図5