（RE-12162）真空蒸着装置の購入【掲載期間：2025年10月9日～2025年10月30日】

（RE-12162）真空蒸着装置の購入【掲載期間：2025年10月9日～2025年10月30日】 公告期間： ～()に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)nyuusatsu_qst@qst.go.jp入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札関係書類及び 技術審査資料 の提出期限開札の日時及び場所令和7年10月9日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 大小原 努記(1)件名真空蒸着装置の購入R7.10.9 R7.10.30 購入入札公告下記のとおり 一般競争入札(4)履行場所 仕様書のとおり(1)(2)内容(3)履行期限 令和8年3月19日E-mail：(2)令和7年10月30日(木)〒263-8555 千葉県千葉市稲毛区穴川４丁目９番１号ＴＥＬ 043-206-6262 ＦＡＸ 043-251-7979(4)令和7年10月31日(金) 17時00分(5)(3)実施しない財務部 契約課 養老 美菜令和7年11月17日(月) 14時30分本部(千葉地区) 入札事務室３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 (1)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 (2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (2)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (3)(4)(5)(1)当機構の定める契約書(契約金額が500万円以上の場合)もしくは請書(契約金額が500万円未満の場合)を作成するものとする。 上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。なお、質問に対する回答は令和7年10月24日(金)その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、入札説明書の交付を受けること。 (1)この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (2)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (3)(4)本入札に関して質問がある場合には 令和7年10月20日(月)17:00までに(2)(1)技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式) 仕様書１．件 名 真空蒸着装置の購入２．数 量 １式３．目 的 特殊法人福島国際教育研究開発機構から受託した「大学・機関連携による有用RI製造技術開発」事業を進めるため、ビスマスターゲット等の作製に用いる。４．納入期限 令和８年3月19日５．納入場所 群馬県高崎市綿貫町１２３３国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構高崎量子技術基盤研究所 生命科学研究棟 植物実験室２６．納入条件 据付調整渡し７．仕様･性能以下の性能を満たすこと。真空蒸着装置 １台(株式会社サンバック製、真空蒸着装置SV-G134相当品可)図面・写真・データ(到達圧力)提出＝機器構成＝ 装置本体 排気系(ターボ分子ポンプ及び油回転ポンプ)メーカー型式明記 真空計メーカー型式明記 真空槽 蒸着電極 膜厚モニターメーカー型式明記 蒸着電源加熱装置 タッチパネル式制御系(自動・手動方式) 被蒸着物固定台 膜厚センサー用冷却装置(QST支給)＝主要構成と仕様＝① 装置仕様装置外形寸法 1,000 mm×1,000 mmの面積へ設置可能なサイズ重量 本体と制御部を合わせて100 kg以内(別置きの油回転ポンプ25kg以内)排気速度 大気圧から1.0×10-3 Paまで60分以内に減圧(常温・無負荷)蒸着方法(蒸着源加熱装置)抵抗加熱方式(2極切替可)② 排気系ターボ分子ポンプ 1 台型式：TG70FCAB吸気口：ICF114排気口：KF16排気速度：75 L/sec(N2)：70 L/sec(N2 保護金網付)起動時間：2 – 2.5 min冷却方式：強制空冷方式電力：120W重量：5 kg油回転ポンプ 1台型式：G-101D実行排気速度：100 L/min(50Hz)到達圧力：0.67 Pa(ガスバラスト閉時)使用電動機：単相AC100 V400 W(4P)油量：800 ml重量：23 kg吸気管径：KF-25最大寸法：234 mm(W)×500.5 mm(L)×254 mm(H)バルブ メイン：B-C63 エアー駆動式 1 個粗引き／補助：3AW-25 エアー駆動式 １個ポンプリークバルブ １個本体リーク：HVB412-4S-5-2C-DC-24V １個配管 NW25フレキシブル配管(粗引き用) 1 個NW25フレキシブル配管(補助引き用) 1個ICF114接続配管 1個オイルミストトラップOMT-100A 1 個③ 計測系高領域真空計 1台型式：ST200-A+SWU10-RST200-A：マルチイオンゲージ(熱陰極電離真空計)SWU10-R：ピラニゲージ測定圧力範囲： 1.0×10-5〜1.0×105 Pa真空度(圧力)表示：タッチパネル上へ常時表示マルチイオンゲージ測定子：SWT-16ピラニゲージ測定子：SWP-16測定子ケーブル大気圧検知器 SVS-1 NW16(S-304) 1 個ON 0 kPa / OFF -6.7 kPa④ 真空槽(蒸着室)形状硬質ガラス製のガラスペルジャー部とSUS304製の金属フィードスルー部で構成。ガラスペルジャー部を金属フィードスルーのフランジ部へ被せる構造。ペリジャー開閉は手動。ガラスペルジャー １個 材質：硬質ガラス(保護網カバー付) 寸法：内径約φ240 mm×高さ約240 mm(H)金属フィードスルー 1個 上部フランジ部外径約φ270 mm×内径約φ200 mm 胴体部内径約φ210 mm×内高さ約100 mm 材質：SUS304(電解研磨処理)真空排気ポート ICF114(メイン排気口) 1 個NW25(粗引き排気口) 1 個抵抗加熱電極導入ポート 3 個本体リークポート 1/4インチスウェージロック製継手相当 1 個真空計測定子用ポート NW16 1 個大気圧検知器用ポート NW16 1 個膜厚モニターポート ICF70(冷却水導入部) 1 個予備ポート ICF70(納入時ブランク) 1 個蒸着室内部治具電極 AC10 V 150 A 2対電極ターミナル ボート固定具付 2 個材質：無酸素銅+クロムメッキ処理蒸着ステージ 成膜テスト用 1 個支柱 蒸着源〜蒸着ステージ間距離 調整用 4本200 mm程度調整可能メイン排気口金網 遺物落下防止用⑤ 蒸着電源 １台AC電源 ケース組込型ダウントランス 1次0 V-200 V / 2次0 V-10 V 1.5 kVA交流電流計 YS-10NAA B 0-150-300 A 150/5A N (CT)⑥ 膜厚計 1 式水晶発振式成膜コントローラ CRTM-6000G膜厚モニター(センサー) CRTS-4(水冷式)⑦ 制御部 1 式 真空排気立上げ及び停止は自動モード若しくは手動モードとする ペルジャー開時の本体リークは手動とする 操作部はキャビネット、また本体正面パネルにタッチパネルディスプレイを装備すること 主構成部品：シーケンサー、漏電遮断器、カレントトランス、DC電源、電磁接触器、電磁開閉器、リレー、サイリスタ、端子台、電流計、蒸着電源⑧ 計装エアー系統 1式圧力スイッチ付レギュレータ 1 個電磁弁 RV/FV/MV 3系統配管 新フレックス配管 1式一次側接続口径 φ6 mmワンプッシュ継手 1式⑨ 本体架台 1 式アルミフレーム構造本体架台パネル：焼付塗装 マンセル N9.5⑩ 制御部架台 1式アルミフレーム構造制御部架台パネル：焼付塗装 マンセル N9.5＝ユーティリティ＝① 電力 単相AC100V30A 1系統② 計装エアー 圧力：0.5 MPAG以上 0.6 MPAG以下 1系統接続継手：φ6 mmワンプッシュ継手③ 乾燥窒素 圧力：0.05 MPaG〜0.1 MPaG 1系統接続継手：1/4インチスウェージロック製継手相当④ 冷却水循環装置 QST支給、EYELA製PCC-7000相当品 1系統⑤ 設置寸法 1000 mm×1000 mmの面積に設置可能⑥ 排気ダクト 必要に応じて施工可能 1系統8．検査条件5項に示す納入場所に納入し、員数検査、外観検査、動作確認の合格をもって検査合格とする。９．契約不適合責任契約不適合責任については、契約条項のとおりとする。10．グリーン購入法の推進(1)本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)の採用が可能な場合は、これを採用するものとする。(2)本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。11．協議本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項について疑義が生じた場合は、QSTと協議のうえ、その決定に従うものとする｡(要求者)高崎量子技術基盤研究所 量子バイオ基盤研究部RI医療応用プロジェクト石岡 典子