（RE-08599）SXイメージングビームライン用真空ゲージ・ゲートバルブ・イオンポンプの購入【掲載期間：2026年9月7日～2026年10月27日】

（RE-08599）SXイメージングビームライン用真空ゲージ・ゲートバルブ・イオンポンプの購入【掲載期間：2026年9月7日～2026年10月27日】 - 1 -入 札 公 告次のとおり一般競争入札に付します。令和8 年 9 月 7 日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部長 服部 雅彦◎調達機関番号 804 ◎所在地番号 12○第 65号１ 調達内容(1) 品目分類番号 24(2) 購入等件名及び数量SX イメージングビームライン用真空ゲージ・ゲートバルブ・イオンポンプの購入 一式(3) 調達件名の特質等 入札説明書による。(4) 履行期間 入札説明書による。(5) 履行場所 入札説明書による。(6) 入札方法 入札説明書による。２ 競争参加資格(1) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構契約事務取扱細則第１０条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者については、この限りでない。(2) 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機公告期間：令和8年9月7日～令和8年10月27日- 2 -構契約事務取扱細則第１１条第１項の規定に該当しない者であること。(3) 令和８年度に国の競争参加資格(全省庁統一資格)を有している者であること。なお、当該競争参加資格については、令和 8年 3 月 31 日付け号外政府調達第 58 号の官報の競争参加者の資格に関する公示の別表に掲げる申請受付窓口において随時受け付けている。(4)当機構から取引停止の措置を受けている期間中の者でないこと。３ 入札書の提出場所等(1) 入札書の提出場所、契約条項を示す場所、入札説明書の交付場所及び問い合わせ先〒263-8555 千葉市稲毛区穴川４－９－１国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財務部 契約課 電話 043-206-3014E-mail:nyuusatsu_qst@qst.go.jp(2) 入札説明書の交付方法 本公告の日から入札書受領期限の前日17：00までの間において上記3(1)の交付場所にて交付する。また、電子メールでの交付を希望する者は必要事項(調達番号、件名、住所、社名、担当者所属及び氏名、電話番号)を記入し3(1)のアドレスに申し込むこと。ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12- 3 -月29日～1月3日)を除く平日に行う。(3) 入札説明会の日時及び場所 開催しない(4) 入札書の受領期限令和8 年 10月 28日 17時 00分(5) 開札の日時及び場所 国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 本部(千葉地区)入札事務室令和8 年 11月 13日 10 時 00分４ その他(1) 契約手続において使用する言語及び通貨日本語及び日本国通貨。(2) 入札保証金及び契約保証金 免除。(3) 入札者に要求される事項 この一般競争に参加を希望する者は、封印した入札書に本公告に示した物品を納入できることを証明する書類を添付して入札書の受領期限までに提出しなければならない。入札者は開札日の前日までの間において、当機構から当該書類に関し説明を求められた場合は、それに応じなければならない。(4) 入札の無効 本公告に示した競争参加資格のない者の提出した入札書、入札者に求められる義務を履行しなかった者の提出した入札書、その他入札説明書による。- 4 -(5) 契約書作成の要否 要。(6) 落札者の決定方法 本公告に示した物品を納入できると契約責任者が判断した入札者であって、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構が作成した予定価格の制限の範囲内で最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。(7) 手続における交渉の有無 無。(8) その他 詳細は入札説明書による。なお、入札説明書等で当該調達に関する環境上の条件が定められている場合は、十分理解した上で応札すること。５ Summary(1) Official in charge of disbursement of theprocuring entity : HATTORI Masahiko, D-irector of Department of Financial Affairs,National Institutes for Quantum Science a-nd Technology. (2) Classification of the products to be proc-ured : 24(3) Nature and quantity of the products tobe purchased :Purchase of Vacuum Gauges, Gate Valves,and Ion Pumps for the SX Imaging Beaml in- 5 -e 1 Set(4) Del ivery period : As shown in the tenderDocumentation(5) Delivery place : As shown in the tenderDocumentation(6) Qual i fications for participating in the ten-dering procedures :Suppl iers el igible for pa-rticipating in the proposed tender are thosewho shall :A not come under Article 10 of the Regula-tion concerning the Contract for NationalInstitutes for Quantum Science and Tech-nology, Furthermore, minors, Person underConservatorship or Person under Assist-ance that obtained the consent necessaryfor concluding a contract may be appl ica-ble under cases of special reasons withinthe said clause,B not come under Article 11(1) of the Re-gulation concerning the Contract for Nati-onal Institutes for Quantum Science andTechnology,C have qualification for participating in ten-ders by Single qual ification for every min-- 6 -istry and agency during fiscal 2026,D not be currently under suspension of bus-iness order as instructed, National Instit-utes for Quantum Science and Technology(7) Time limit of tender :5:00 PM, 28 Oct. 2026(8) Contact point for the notice : ContractSection, National Institutes for QuantumScience and Technology, 4-9-1 Anagawa,Inage-ku, Chiba-shi 263-8555 JAPAN(TEL.043-382-8044, E-mai l: nyuusatsu_qst@qst.go.jp)(9) Please be noted that i f it is indicated t-hat environmental conditions relating tothe procurement are laid down in its ten-der documeｎts. SXイメージングビームライン用真空ゲージ・ゲートバルブ・イオンポンプの購入仕 様 書国立研究開発法人 量子科学技術研究開発機構1. 件名SXイメージングビームライン用真空ゲージ・ゲートバルブ・イオンポンプの購入2. 目的本件は、国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構(以下「量研」という。)が運用するNanoTerasuにおいて、SXイメージングビームラインの真空区画を区切るためのゲートバルブ、真空度計測のための真空計および真空を保つためのイオンポンプを購入するものである。3. 購入品仕様3.1 製品構成及び数量(1) 真空計コントローラ① 7台(2) ヌードイオンゲージ 8台(3) 真空計ケーブル(ベーカブル)5m 7本(4) 真空計延長ケーブル5m 1本(5) 真空計延長ケーブル10m 1本(6) 真空計延長ケーブル20m 3本(7) 真空計延長ケーブル25m 2本(8) 真空計コントローラ② 6台(9) フルレンジCCゲージ 10台(10) 電源ケーブル100VAC用 6本(11) 真空計センサーケーブル10m 4本(12) 真空計センサーケーブル20m 2本(13) 真空計センサーケーブル25m 3本(14) 真空計センサーケーブル35m 1本(15) イオンポンプ 1台(16) イオンポンプコントローラー 1台(17) イオンポンプケーブル 1本(18) 圧空UHVゲートバルブ①(DN40CF-F) 11台(19) 圧空UHVゲートバルブ②(DN63CF-F) 3台(20) 手動UHVゲートバルブ①(DN40CF-F) 1台(21) 手動UHVゲートバルブ②(DN100CF-F) 6台(22) 手動UHVゲートバルブ③(DN160CF-F) 1台3.2 仕様の詳細3.2.1真空計コントローラ①(キヤノンアネルバ社製 M-923DD超高真空計 相当品)(1) 3.2.2 ヌードイオンゲージを接続可能であること。(2) 圧力表示範囲が 1.32×10-1 Pa~0.01×10-9 Pa であること。(3) 圧力表示は LEDデジタル2.5桁表示であり表示周期は 0.25 秒であること。(4) レンジは自動切替かつ、レンジホールド機能があること。(5) エミッション電流は 400 A または 4 mA の自動切替および固定可能かつ自動切替圧力ポイントが変更可能であること。(6) 電子衝撃方式による脱ガス操作が手動、自動または外部制御にて動作可能であること。(7) ゲージフィラメントの切替はフロントパネルまたは外部入力信号により可能であること。(8) フィラメント保護機能は 1.33×10-1 Pa以上で動作し、フロントパネルに表示されること。(9) 所要電力は 交流100V±10%, 最大電流 2A かつ50/60Hzで動作すること。(10) 外形寸法は H99×W209 ×D330(1/2 ラックサイズ)であること。(11) 質量は 6.0 kg 以下であること。3.2.2 ヌードイオンゲージ(キヤノンアネルバ社製 NIG-2TF 相当品)(1) ゲージタイプは ヌード型B-Aであること。(2) 真空槽とは ICF70 フランジで接続可能であること。(3) 測定範囲は、10-9 ~ 10-2 Paであること。(4) ベーク可能温度は、最高 400 ℃ であること。(5) イットリアコートフィラメントを2本 有すること。3.2.3 真空計ケーブル(キヤノンアネルバ社製 921-911 相当品)(1) 3.2.1 真空計コントローラ①と 3.2.2 ヌードイオンゲージを接続可能であること。(2) ベーカブルであること。(3) ケーブル長は5m程度であること。(4) 耐熱温度は最高250℃であること。3.2.4 真空計延長ケーブル(1) 3.2.3真空計ケーブルに接続可能であること。(2) ケーブル長：3.1(4)～(7)の通りとする。(3) 延長ケーブルは、ノンベーカブルタイプを可とする。3.2.5 真空計コントローラ②(ファイファーバキューム社製 PED521100 OmniControl200 相当品)(1) タッチパネル式ディスプレイにより真空度を表示可能であること。(2) 3.2.6 フルレンジCCゲージを最大2台まで接続し、真空度を同時に表示可能であること。(3) USB、イーサーネットインターフェースによりデータ転送可能であること。(4) AC100~240Vにて動作可能なこと。(5) ラックマウント型真空システムコントローラであること。(6) USBデータロギング機能を有すること。3.2.6 フルレンジCCゲージ(ファイファーバキューム社製 PTT03350010 PKR361 相当品)(1) 測定範囲は、大気圧から10-7 Paであること。(2) コールドカソードゲージとピラニゲージを 1 つのゲージヘッドに内蔵したフルレンジゲージであること。(3) スパッタ低減可能な電流型とし、従来機種のPKR251、261と比較して汚染耐性を有すること。(4) 内部はオールメタルシールとし、エラストマーシールがないこと。(5) 真空槽とは ICF70 フランジで接続可能であること。(6) エレクトロニクスユニットを取り外すことで、ベーキング温度150度までの耐熱性を有すること。ユニット取付時は、-40~+70℃(保管温度)とする。(7) フランジ面から100mmの距離にて漏洩磁場が1.2mT以下であること。3.2.7 電源ケーブル100VAC用(1) ケーブル長は2m以上であること。(2) 3.2.5真空計コントローラ②の給電用として使用可能なこと。(3) PSE対応であること。3.2.8 真空計センサーケーブル(1) 3.2.5ゲージコントローラと 3.2.6ゲージヘッドを接続できること。ケーブル長は、3.1(11)~(14)の通りとする。3.2.9 イオンポンプ(GAMMA VACUUM社製 800LX TiTan Ion Pump 800LX-CV-8D-SC-220-N相当品)(1) エレメントは Solid Titanium Cathodes (CV)であること。(2) 排気量が、窒素ガス相当で 800 L/s 以上であること。(3) イオンポンプ駆動用の電流導入端子は 10 kV SHV 型であること。(4) 1×10–4 Pa における寿命は 50,000 時間以上あること。(5) 電源容量の範囲で起動真空度が 1×10–1 Pa以下であること。(6) ベーキング時の耐熱温度は、磁石付きで最高 250℃、磁石なしで最高 450℃であること。(7) ベーキング用ヒーター(単相 AC200V 用)が取り付けられていること。(8) 到達真空度は、1×10–9 Pa 以下であること。(9) ICF203 フランジを 2 ポート有すること。(10) 外寸が、高さ 540 mm×幅 418 mm×奥行 417 mm に収まること。(11) ポンプ固定のための所定のボスなどを有すること。3.2.10 イオンポンプコントローラー(GAMMA VACUUM社製 DIGITEL QPC QPC-1-P-S-1-US220-S-S-N-HRFP 相当品)(1) 3.2.9 イオンポンプ 1 台をコントロール(始動、停止)できること。(2) 単相交流 200V、50Hz で動作可能であること。(3) 出力最大電流は 500 mA、500 W/ch であること。(4) 最小電流分解能は 0.1 μA であること。(5) 真空度、電流、電圧を表示できること。(6) セットポイントとして 4 個のリレーをもつこと。(7) Serial 通信および Ethernet 通信が可能なこと。(8) 重さは約 32 ㎏とし、19inch ラック、3U で奥行き 480mm 程度に収納可能なこと。(9) 前面パネルに 19inch ラックへの取付ネジ穴が付いていること。3.2.11 イオンポンプケーブル(GAMMA VACUUM社製 SAFECONN Cable SCP-SC3-SC 相当品)(1) 3.2.9 イオンポンプと 3.2.10 イオンポンプコントローラーを接続可能であること。(2) ケーブル長は 3 m 以上であること。(3) 両端のコネクター形状が SHV (Safecon)であること。3.2.12 圧空UHVゲートバルブ共通仕様(1) フランジの形式はコンフラット(CF)形式であり、メトリックタップボルトであること。(2) バルブ開閉を示すリミットスイッチを有すること。 (3) リミットスイッチは、バルブ開閉状態を示す機械的な表示機構を有すること。(4) 圧縮空気駆動式であること。(5) 0.5～0.7 MPa(ゲージ圧)の圧縮空気で開閉可能なこと。(6) 電磁弁の動作電圧は直流24Vであること。(7) 軸シール方式は、ベローズシール方式であること。(8) ボディ材料は、AISI 304(SUS 304相当)、AISI 316L(SUS 316L相当)であること。(9) ベローズ材料は、AISI 316L(SUS 316L相当)であること。(10) シール面はバイトンシール焼き付けタイプとし，ボンネットはメタルシールであること。(11) リークレートは，ボンネット部にて5×10-11 Pa・m3/sec以下であること。(12) ベーキング温度はバルブ開にて250℃，閉にて200℃で可能なこと。(13) 1回目の保守までのサイクル数は5万回以上であること。3.2.12.1 圧空UHVゲートバルブ① (VAT社製 01032-CE44 相当品)(1) フランジの口径はDN40(ICF70)であること。(2) フランジ面間距離は、35mmであること。(3) 使用可能圧力範囲は、1×10-8 Paから0.2 MPa(絶対圧)までであること。(4) ゲート許容最大圧力差は0.2 MPa以上，開操作は30 hPa以下であること。3.2.12.2 圧空UHVゲートバルブ② (VAT社製 10836-CE44 相当品)(1) フランジの口径はDN63(ICF114)であること。(2) フランジ面間距離は、70mmであること。(3) 使用可能圧力範囲は、1×10-8 Pa から0.16 MPa(絶対圧)までであること。(4) ゲート許容最大圧力差は0.16 MPa以上，開操作は30 hPa以下であること。3.2.13 手動UHVゲートバルブ共通仕様(1) フランジの形式はコンフラット(CF)形式であり、メトリックタップボルトであること。(2) 手動式であること。(3) バルブ開閉状態を示す機械的な表示機構を有すること。(4) 軸シール方式は、ベローズシール方式であること。(5) ボディ材料は、AISI 304(SUS 304相当)、AISI 316L(SUS 316L相当)であること。(6) ベローズ材料は、AISI 316L(SUS 316L相当)であること。(7) シール面はバイトンシール焼き付けタイプとし，ボンネットはメタルシールであること。(8) リークレートは，ボンネット部にて5×10-11 Pa・m3/sec以下であること。(9) ベーキング温度はバルブ開にて250℃，閉にて200℃で可能なこと。(10) 1回目の保守までのサイクル数は5万回以上であること。3.2.13.1 手動UHVゲートバルブ①(VAT社製 01032-CE01 相当品)(1) フランジの口径はDN40(ICF70)であること。(2) フランジ面間距離は、35mmであること。(3) 使用可能圧力範囲は、1×10-8 Paから0.2 MPa(絶対圧)までであること。(4) ゲート許容最大圧力差は0.2 MPa以上，開操作は30 hPa以下であること。3.2.13.2 手動UHVゲートバルブ②(VAT社製 10840-CE01 相当品)(1) フランジの口径はDN100(ICF152)であること。(2) フランジ面間距離は、70mmであること。(3) 使用可能圧力範囲は、1×10-8 Paから0.16 MPa(絶対圧)までであること。(4) ゲート許容最大圧力差は0.16 MPa以上，開操作は30 hPa以下であること。3.2.13.3 手動UHVゲートバルブ③(VAT社製 10844-CE01 相当品)(1) フランジの口径はDN160(ICF203)であること。(2) フランジ面間距離は、70mmであること。(3) 使用可能圧力範囲は、1×10-8 Paから0.16 MPa(絶対圧)までであること。(4) ゲート許容最大圧力差は0.16 MPa以上，開操作は30 hPa以下であること。4. 納期令和10年3月27日(月)なお、納入は工程に合わせ下記のとおり2回に分けて行う。第一回 令和9年3月29日(月)(真空計コントローラ① 7台を除く)第二回 令和10年3月27日(月)(真空計コントローラ① 7台)5. 納入場所、保管条件及び納入条件(1) 納入場所宮城県仙台市青葉区荒巻字青葉 468-1国立大学法人東北大学青葉山キャンパスNanoTerasu内の指定する場所(2) 保管条件納入までの保管は受注者が行い、長期保管時には防錆と結露に注意すること。冬季に納入の場合は空調車などにより納入時の温度変化に伴う結露の防止に努めること。詳細なスケジュールは、契約後に打合せのうえ決定する。(3) 納入条件持込車上渡し。6. 検査条件(1) 5．(１)に示す納入場所に納入後、員数検査、外観検査を行い量研が合格と認めること。(2) 9.の提出図書の確認を行い、量研が合格と認めること。7. 瑕疵担保責任瑕疵担保責任については、契約条項のとおりとする。8. グリーン購入法の推進(1) 本契約において、グリーン購入法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適用する環境物品(事務用品、ＯＡ機器等)の採用が可能な場合は、これを採用するものとする。(2) 本仕様に定める提出図書(納入印刷物)については、グリーン購入法の基本方針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。9. 提出書類書 類 名 提 出 時 期 部数 提出前確認性能表取扱説明書契約後ただちに納入時1部1部要不要(1) 真空計ケーブル(ベーカブル)、真空計延長ケーブル、電源ケーブル100VAC用、真空計センサーケーブル、イオンポンプケーブルについては上記性能表および取扱説明書の提出を求めない。(2) 上記性能表は、本仕様の内容を満たすことを示す内容とし、製品カタログでも可とする。(3) 上記性能表は、製品納入後の保守及び障害対策について、その支援体制及び内容の詳細を具体的に記載すること。(4) 上記性能表は、外形寸法図を物品一件につきA4サイズで読取り可能な図として1枚ずつ示すこと。(5) 上記性能表には、それぞれの物品について必要となる保守項目、保守に必要なコストを示すこと。10. 協議本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項について疑義が生じた場合は、量研と協議のうえ議事録を作成し、その決定に従うものとする｡11. その他(1) 検収後1年以内に瑕疵が発見された場合、無償にて速やかに修理もしくは交換を行うものとする。(2) 瑕疵担保期間の内外を問わず、故障や不良等が発生した場合には速やかな対処が可能であること。また原因と対処方法を速やかに量研に報告すること。(要求者)部課(室)名： NanoTerasuセンター 高輝度放射光研究開発部ビームライングループ氏 名： 倉橋直也