GaAs試作チップ １式

GaAs試作チップ １式 ᅜ❧኱Ꮫἲேᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫ࡟࠾࠸࡚ࠊୗグࡢ࡜࠾ࡾ୍⯡➇தධᮐ࡟௜ࡋࡲࡍࠋ㸯ࠉࠉ➇தධᮐ࡟௜ࡍࡿ஦㡯㸦㸯㸧௳ྡ㸦㸰㸧⣡ධᮇ㝈㸦㸱㸧⣡ධሙᡤ㸰ࠉࠉⴠᮐ᪉ᘧ㸱ࠉࠉ➇த࡟ཧຍࡍࡿ⪅࡟ᚲせ࡞㈨᱁㸦㸲㸧ᮏᏛ࠿ࡽྲྀᘬ೵Ṇࡢᥐ⨨ࢆཷࡅ࡚࠸ࡿᮇ㛫୰ࡢ⪅࡛࡞࠸ࡇ࡜ࠋ㸦㸳㸧ᮏᏛࡀධᮐㄝ᫂᭩࡛ᣦᐃࡍࡿ᮲௳➼ࢆ‶ࡓࡍ⪅࡛࠶ࡿࡇ࡜ࠋ㸲ࠉࠉዎ⣙᮲㡯ࢆ♧ࡍሙᡤཬࡧධᮐㄝ᫂᭩ࢆ஺௜ࡍࡿሙᡤᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫ㈈ົ㒊ዎ⣙ㄢ኱ᒸᒣዎ⣙➨㸱ࢢ࣮ࣝࣉᢸᙜ㸸ཎ⏣ 㟁ヰ㸸HPDLO㸸 SURFRND>#@DGPLVFWDFMS㸦>#@ࡣ#࡟ኚ᥮ࡃࡔࡉ࠸㸧㸳ࠉࠉධᮐㄝ᫂఍ࡢ᪥᫬ཬࡧሙᡤࠉ࡞ࡋ㸴ࠉࠉᥦ᱌᭩➼ࡢᥦฟᮇ㝈ཬࡧሙᡤ㸦㸯㸧᪥᫬㸦㸰㸧ሙᡤ ➨㸲㡯࡟♧ࡍሙᡤ㸵ࠉࠉධᮐ᭩ࡢᥦฟᮇ㝈ཬࡧሙᡤ㸦㸯㸧᪥᫬㸦㸰㸧ሙᡤ ➨㸲㡯࡟♧ࡍሙᡤ㸶ࠉࠉ➇தධᮐᇳ⾜ࡢ᫬ᮇཬࡧሙᡤ㸦㸯㸧᪥᫬㸦㸰㸧ሙᡤ ᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫ኱ᒸᒣᆅ༊㈈ົ㒊ዎ⣙ㄢධᮐᐊ㸷ࠉࠉධᮐ᪉ἲ㸯㸮ࠉධᮐࡢ↓ຠࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉࠉ➨㸱㡯࡟♧ࡋࡓ㈨᱁ࡢ࡞࠸⪅ࡢࡋࡓධᮐཬࡧධᮐ࡟㛵ࡍࡿ᮲௳࡟㐪཯ࡋࡓධᮐ᭩ࡣ↓ຠ࡜ࡍࡿࠋࠉࠉ㸯㸯ࠉධᮐಖド㔠ཬࡧዎ⣙ಖド㔠ච㝖ࡍࡿࠋ㸯㸰ࠉዎ⣙᭩ࡢసᡂࡇࡢ➇தධᮐࡢ⤖ᯝࠊⴠᮐ⪅ࡀỴᐃࡋࡓ࡜ࡁࡣᙜヱⴠᮐ⪅ࡣዎ⣙᭩ࢆసᡂࡍࡿࡶࡢ࡜ࡍࡿࠋ㸯㸱ࠉࡑࡢ௚ヲ⣽ࡣධᮐㄝ᫂᭩࡟ࡼࡿࠋᅜ❧኱Ꮫἲேᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫ௧࿴ᖺ᭶᪥௧࿴ᖺ᭶᪥ ᫬ศ㸦㸯㸧ᅜ❧኱Ꮫἲேᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫዎ⣙஦ົྲྀᢅつ⛬➨㸵᮲ཬࡧ➨㸶᮲ࡢつᐃ࡟ヱᙜࡋ࡞࠸ࡶࡢ࡛࠶ࡿࡇ࡜ࠋ୍ࠉ⯡ࠉ➇ࠉதࠉධࠉᮐࠉබࠉ࿌*D$Vヨసࢳࢵࣉࠉ㸯ᘧ௧࿴ᖺ᭶᪥኱ᒸᒣ࢟ࣕࣥࣃࢫࠉ༡ྕ㤋㝵ࠉⴠᮐỴᐃ࡟ᙜࡓࡗ࡚ࡣࠊධᮐ᭩࡟グ㍕ࡉࢀࡓ㔠㢠࡟ᙜヱ㔠㢠ࡢᾘ㈝⛯ཬࡧᆅ᪉ᾘ㈝⛯┦ᙜ㢠ࢆຍ⟬ࡋࡓ㔠㢠㸦ᙜヱ㔠㢠࡟㸯෇ᮍ‶ࡢ➃ᩘࡀ࠶ࡿ࡜ࡁࡣࠊࡑࡢ➃ᩘ㔠㢠ࢆษࡾᤞ࡚ࡿࡶࡢ࡜ࡍࡿ㹿ࢆࡶࡗ࡚ⴠᮐ౯᱁࡜ࡍࡿࡢ࡛ࠊධᮐ⪅ࡣᾘ㈝⛯ཬࡧᆅ᪉ᾘ㈝⛯࡟ಀࡿㄢ⛯஦ᴗ⪅࡛࠶ࡿ࠿ච⛯஦ᴗ⪅࡛࠶ࡿ࠿ࢆၥࢃࡎࠊぢ✚ࡶࡗࡓዎ⣙㔠㢠࠿ࡽᾘ㈝⛯ཬࡧᆅ᪉ᾘ㈝⛯┦ᙜ㢠ࢆᕪࡋᘬ࠸ࡓ㔠㢠ࢆධᮐ᭩࡟グ㍕ࡍࡿࡇ࡜ࠋ௧࿴ᖺ᭶᪥ ᫬ศ㸦㸰㸧ᅜࡢ➇தཧຍ㈨᱁㸦඲┬ᗇ⤫୍㈨᱁㸧࡟࠾࠸࡚௧࿴㸶ᖺᗘ࡟㛵ᮾ࣭⏥ಙ㉺ᆅᇦࡢࠕ≀ရࡢ㈍኎ࠖࡢ㸿ࠊ㹀ࠊ㹁ࡲࡓࡣ㹂➼⣭࡟᱁௜ࡅࡉࢀ࡚࠸ࡿ⪅࡛࠶ࡿࡇ࡜ࠋ᭱ప౯᱁ⴠᮐ᪉ᘧ㸦㸱㸧ᅜ❧኱Ꮫἲேᮾி⛉Ꮫ኱Ꮫዎ⣙஦ົྲྀᢅつ⛬➨㸴᮲ࡢつᐃ࡟ᇶ࡙ࡁࠊᮏᏛࡀᐃࡵࡿ㈨᱁ࢆ᭷ࡍࡿ⪅࡛࠶ࡿࡇ࡜ࠋ௧࿴ᖺ᭶᪥ ᫬ศ