（RE-11569）斜入射イオン注入装置の製作【掲載期間：2026年9月11日～2026年10月1日】

（RE-11569）斜入射イオン注入装置の製作【掲載期間：2026年9月11日～2026年10月1日】 公告期間： ～()に付します。 1．競争入札に付する事項仕様書のとおり２．入札書等の提出場所等入札説明書等の交付場所及び入札書等の提出場所並びに問い合わせ先(ダイヤルイン)nyuusatsu_qst@qst.go.jp入札説明書等の交付方法上記２．(1)に記載の交付場所または電子メールにより交付する。 ただし、交付は土曜,日曜,祝日及び年末年始(12月29日～1月3日)を除く平日に行う。 電子メールでの交付希望の場合は、「 公告日,入札件名,当機構担当者名,貴社名,住所,担当者所属,氏名,電話,FAX,E-Mail 」を記載し、上記２．(1)のｱﾄﾞﾚｽに送信。 交付の受付期限は の17:00までとする。 入札説明会の日時及び場所入札関係書類及び 技術審査資料 の提出期限開札の日時及び場所財務部 契約課 下福 真治令和8年10月16日 (金) 14時00分本部(千葉地区) 入札事務室(4)令和 8 年 10 月 2 日 (金) 17時00分(5)(3)実施しないE-mail：(2)令和8年10月1日(木)〒263-8555 千葉県千葉市稲毛区穴川４丁目９番１号ＴＥＬ 043-206-6262 ＦＡＸ 043-251-7979(4)履行場所 仕様書のとおり(1)(2)内容(3)履行期限 令和9年3月31日令和8年9月11日国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構財 務 部 長 服部 雅彦記(1)件名斜入射イオン注入装置の製作R8.9.11 R8.10.1 製造請負入札公告下記のとおり 一般競争入札３．競争に参加する者に必要な資格当機構から指名停止措置を受けている期間中の者でないこと。 全省庁統一競争入札参加資格を有する者であること。 当機構が別に指定する誓約書に暴力団等に該当しない旨の誓約をできること。 ４．入札保証金及び契約保証金 免除５．入札の無効入札参加に必要な資格のない者のした入札入札の条件に違反した者の入札６．契約書等作成の要否 要７．落札者の決定方法８．その他中に当機構ホームページにおいて掲載する。 以上 公告する。 上記問い合わせ先宛てに質問書を提出すること。なお、質問に対する回答は令和8年9月25日(金)その他、詳細については、入札説明書によるため、必ず上記２．(2)により、入札説明書の交付を受けること。 (1)この入札に参加を希望する者は、入札書の提出時に、当機構が別に指定する暴力団等に該当しない旨の誓約書を提出しなければならない。 (2)前項の誓約書を提出せず、又は虚偽の誓約をし、若しくは誓約書に反することとなったときは、当該者の入札を無効とするものとする。 (3)(4)本入札に関して質問がある場合には 令和 8 年 9 月 24 日 (木) 17:00までに(2)(1)技術審査に合格し、予定価格の制限の範囲内で、最低価格をもって有効な入札を行った入札者を落札者とする。 (最低価格落札方式)(2)落札決定に当っては、入札書に記載した金額に当該金額の10パーセントに相当する額を加算した金額(当該金額に1円未満の端数があるときは、その端数を切り捨てた金額とする)をもって落札価格とするので、入札者は、消費税に係る課税事業者であるか免税事業者であるかを問わず、見積もった金額の110分の100に相当する金額を入札書に記載すること。 (2)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第11条第１項の規定に該当しない者であること。 (3)(4)(5)(1)当機構の定める契約書(契約金額が500万円以上の場合)もしくは請書(契約金額が500万円未満の場合)を作成するものとする。 (1)国立研究開発法人量子科学技術研究開発機構 契約事務取扱細則第10条の規定に該当しない者であること。ただし、未成年者、被保佐人又は被補助人であって、契約締結のために必要な同意を得ている者についてはこの限りでない。 仕様書Ⅰ ⼀般仕様１．件名斜⼊射イオン注⼊装置の製作２．⽬的本装置は、斜⼊射イオン注⼊によって⾼密度に空孔やイオンを試料に導⼊できるようにするために使⽤する。斜⼊射に加え、⾼温下で注⼊することによって、超⾼濃度の⾊中⼼の層を形成することを⽬的とする。本仕様書は斜⼊射のための⾓度調整機構を有し、⾼温まで温度を制御できる機能を有したイオン注⼊装置を新たに製作するための仕様を定めたものである。３．内容(1)チェンバー １式(2)中空回転ステージ １式(3)試料ホルダー １式(4)試料ヒーター １式(5)イオンビーム拡散防⽌カバー １式(6)架台 １式(7)排気系 １式４．納⼊期限令和９年３⽉３１⽇(⽔)５．納⼊場所群⾺県⾼崎市綿貫町１２３３番地国⽴研究開発法⼈量⼦科学技術研究開発機構⾼崎量⼦技術基盤研究所 イオンビーム研究棟内指定場所６．納⼊条件上記納⼊場所において、据え付け調整後渡しとする。その際、製作元作成の部品リストによる、員数検査と⽬視による外観検査を⾏う。７．検査条件(1)納品前に製作元にて、以下の試験検査を⾏い、試験検査成績書を作成する事。・試料ホルダー部の温度が１０００°Cになる事。(2) 「５．」に⽰す納⼊場所に持ち込み・据え付け調整した後、上記(1)に定める試験検査及び提出図書の合格をもって検査合格とする。(3) 契約不適合が認められた場合は、受注者の責任において速やかに修補、代替品の納⼊⼜は不⾜分の追完を⾏うものとし、その対応⽅法及び期限についてはQSTと協議のうえ決定する。８．提出図書図 書 名 提 出 時 期 部数 確認確認図出荷成績書取扱説明書完成図製作着⼿前納⼊時納⼊時納⼊時1部1部2部2部要不要不要不要(提出場所)⾼崎量⼦技術基盤研究所 材料科学研究棟２階２２１号室９．⽀給品要求元が提⽰する構成図を元に設計する事。その際、以下の品を⽀給することができるが、全ての品を使⽤しなくても良い。(1)品名① 真空ポンプ(ICF203 ターボ分⼦ポンプ、ドライポンプ、配管、⼿動バルブ等) 1 式② ゲートバルブ(ICF203 ⼿動式) 1個③ サプレッサー付きファラデーカップ(管理番号：R04SF01438-000) 1 個④ ICF203Oリング窓付きハッチ(管理番号：H27SF39639-000) 1 個⑤ Zステージ(正孔・電⼦伝搬挙動解析⽤マニピュレータ)(管理番号：H27SF33172-000)1個⑥ ビューポート、ブランクフランジ、NW配管、NW⼿動バルブ、リークバルブ 必要数⑦ 加熱制御電源 １式(2)⽀給⽅法と場所下記のいずれかとする。①⼿渡しの場合は、⾼崎量⼦技術基盤研究所 材料科学研究棟２階２２１号室で⾏う。➁宅配便の場合は、受注業者の指定場所に送る事とする。(3)⽀給時期発注後、速やかに⾏う。1０．品質管理本設備の製作に係る設計・製作・据付け等は、全ての⼯程において、以下の事項等について⼗分な品質管理を⾏うこととする。(1)管理体制(2)設計管理(3)外注管理(4)現地作業管理(5)材料管理(6)⼯程管理(7)試験・検査管理(8)不適合管理(9)記録の保管(10)重要度分類(11)監査1１．機密保持受注者は、本業務の実施に当たり、知り得た情報を厳重に管理し、本業務遂⾏以外の⽬的で、受注者及び下請会社等の作業員を除く第三者への開⽰、提供を⾏ってはならない。1２．安全管理(1)⼀般安全管理①作業計画に際し綿密かつ無理のない⼯程を組み、材料、労働安全対策等の準備を⾏い、作業の安全確保を最優先としつつ、迅速な進捗を図るものとする。また、作業遂⾏上既設物の保護及び第三者への損害防⽌にも留意し、必要な措置を講ずるとともに、⽕災その他の事故防⽌に努めるものとする。②作業現場の安全衛⽣管理は、法令に従い受注者の責任において⾃主的に⾏うこと。1３．グリーン購⼊法の推進(1) 本契約において、グリーン購⼊法(国等による環境物品等の調達の推進等に関する法律)に適⽤する環境物品(事務⽤品、ＯＡ機器等)が発⽣する場合は、これを採⽤するものとする。(2) 本仕様に定める提出図書(納⼊印刷物)については、グリーン購⼊法の基本⽅針に定める「紙類」の基準を満たしたものであること。1４．協議本仕様書に記載されている事項及び本仕様書に記載のない事項について疑義が⽣じた場合は、QSTと協議のうえ、その決定に従うものとする｡Ⅱ 技術仕様１．各部仕様要求元が提⽰する構成図を元に設計する事。必ずしも同じデザインである必要はなく、要求元と相談の上、確認図を決定すること。製作着⼿前に確認図を提出し、要求元からの承認を経て製作すること。(1)チェンバー①到達真空度として１×10ିହ Paに到達することが可能な構造である事。②チェンバーと真空配管部品は、全てICF規格品とする事。排気系ではNW(KF)規格品を使う事も可能である。どうしても難しい場合は、対応策をQSTと協議の上、決定する事とする。③試料交換が容易に⾏える構造にする事。その際の試料ホルダーへのアクセス⽅法は、(１)チェンバーにハッチ(ICF203程度)を付けてそこからアクセスする⽅法や、(２)チェンバーにヒンジを付けて、チェンバーを開閉する⽅法、(３)その他を検討することとし、確認図を作成する前に要求元と相談の上で決定すること。④次に定める数のポートを備える事。試料交換⽤ポート(側⾯にICF203を推奨)、試料交換⽤ポートの対⾯(ICF152 もしくは ICF203 を推奨)、中空回転ステージ⽤ポート(チェンバー上部にICF253 を推奨)、ビーム⼊射⽤ポート(ICF70 以上を推奨)、ビーム⼊射⽤ポートの対⾯(ICF70以上を推奨)、真空主排気⽤ポート(チェンバー下部にICF203を推奨)、真空予備排気⽤ポート(任意の位置にICF70を推奨)、リーク⽤ポート(任意の位置にICF34を推奨)、真空計⽤ポート(任意の位置にICF70を推奨)、観察⽤ポート(試料を観察可能な位置にICF70を推奨)、予備のポートは複数設ける事。⑤ ベーキング可能な機構(シースヒーター)を備える事。⑥ 真空の⽴ち上がりを時間を出来るだけ短縮することによってマシンタイムを有効に利⽤するために表⾯処理は電解研磨＋SMC洗浄＋450℃ 10時間⾼真空脱ガス処理(脱ガス処理中真空度1×10-4 Pa以下)とする。(２)中空回転ステージ① ⽀給するZステージを加⼯し、Z軸調整可能な機構とする事。② θ軸調整機構は、5層ステッピングモーターの電動駆動とし、コントローラーを付属する事。③ θ軸機構の可動範囲は、±１８０°(内部配線により制限している。)とする事。さらに０°、±９０°と±１８０°の位置で固定が可能な事。④ 試料交換時は−９０°の位置で⾏う事。(チェンバーのハッチから内部にアクセスする場合。チェンバーを開閉する⽅法の場合は、必要で無ければ特に定めない。)⑤ 中空Ｚ軸ステージには、θ軸周りのブレ⽌め(偏⼼が起こりにくい構造)を設ける事。 ⑥ ０．1°刻みで制御できる事。⑦ ファラデーカップの信号、サプレッサー、試料信号(イオン注⼊の最中のビーム電流変化のモニタ⽤)、ヒーター、温度計測、⽔冷(必要ない場合は省略可能)のためのフィードスルーを備える事。⑧ 差動排気⽤のバルブポート(NW16を推奨)(３)試料ホルダー① ２０×２０ｍｍ2以下の任意の⼤きさの試料が固定できる事。② イオンビームの照射範囲は、試料表⾯がイオンビーム直交時は２０×２０ｍｍ2、６０°回転時は幅５ｍｍ以上を確保する事。この回転は、Ｚ軸上のみの回転で、ＸＹの両軸⽅向には⼀切移動ない事。③ 試料の固定⽅法は、精度があり確実で簡便な⽅法で、試料の全⾯が照射可能な事。その際には、試料の上下左右表裏⽅向を変えずに、装置に取り付け可能な事。ねじ込み式の試料ホルダーは、試料の⽅向が⼀定しないので不可とする。④ イオンビーム照射中に、試料ホルダーの電流値を計測する為の機構を設ける事。⑤ ⽀給するサプレッサー付きファラデーカップは、試料ホルダー下部に固定できるものとする。 試料ホルダーと⼀体となって上下に動く事。⑥ サプレッサー及び信号の導⼊端⼦を有する事。⑦ 脱着できる構造にする事。(４)試料ヒーター① 試料が接する部分において、室温〜１０００°Cまでの任意の温度に設定できるものとする。② 故障した際、容易に交換可能な構造とする事。③ 試料⽤ホルダーに取付ける事。④ １０００℃以上の温度に耐えられる材料を⽤いる事。(５)イオンビーム拡散防⽌⽤カバー① サプレッサー付きファラデーカップ使⽤時に、拡散したイオンビームが、試料に当たる事を防ぐ為のカバーを設ける事。または、各部形状を⼯夫して対応するのでも可能とする。(６)架台① チェンバー他を取り付けるのに、⼗分な強度を持ち、周囲の振動に対して過敏で無い事。② 床⾯からイオンビーム軸までの⾼さは、１２５５ｍｍ程度とする事。③ 床⾯の平⾯度が悪くても対応可能な、調整代と⽅法を有する事。④ 容易に移動できる⾞輪を備える事。⑤ 移動が容易な⾞輪を有し、適切なロック(固定時に⾞輪が動かない)を施す事。(７)排気系① QSTが⽀給する装置を取り付けることができるようにする事。２．構成図構成図はQSTから提⽰するものを⽤いること。構成図は契約後に要求元から開⽰する。契約前に構成概要図について閲覧を希望する場合は、業務に必要な資格を有する者につき、秘密保持誓約書を提出した上で、当機構担当者⽴会いの下、当機構にて開⽰する(複製不可)。3．洗浄真空配管については電解研磨及び精密洗浄すること4．試験・検査本装置に関する試験・検査は以下の各項⽬を実施すること。なお、以下の検査を実施するに当たり、事前に検査要領書を作成し提出するものとする。(１)リーク検査出荷前に⼯場にて実施することHeリークディテクターを⽤い、リークレートが1.33x10-11 Pam3/sec以下にて合格とすること結果を出荷成績書に記載すること(２)動作試験出荷前に⼯場にて実施すること付属コントローラーによる回転制御を⾏い、正常に動作することを確認すること結果を出荷成績書に記載すること。(要求者)部課(室)名：量⼦機能創製研究センター量⼦材料機能化グループ⽒ 名：⼩野⽥ 忍